高端装备与激光技术创新及产业化项目可行性实施报告.docVIP

高端装备与激光技术创新及产业化项目可行性研究报告 项目概况 一 项目背景 为进一步加快沈阳新松机器人自动化股份有限公司的发展，尽快把企业做大做强，在巩固原有主营业务的同时，加大新兴产业的投资力度，增强公司盈利能力与抗风险能力，为股东及投资人创造价值，新松公司拟在杭州萧山临江工业园区设立全资控股公司，开拓激光产业及高端装备项目。 二 项目定位 中科新松（杭州）光电有限公司（以工商部门核准的名称为准），简称中科新松，是由沈阳新松机器人自动化股份有限公司（简称“新松公司”）投资建设，作为新松公司的南方中心。中科新松采用有限责任公司的运营机制；办公、研发、生产制造位于杭州市；市场以杭州、上海、深圳公司为窗口，涵盖珠三角、长三角等华南、华东经济圈；与北方新松公司总部遥相呼应，协同发展。 三 项目技术与产品 1 洁净高端装备产品 （1）大气机械手 大气机械手主要应用于IC生产中大气端晶圆片的传送，主要包含运动部件的洁净润滑、高速平稳控制、控制器的小型化、晶圆位臵检测等关键技术。目前有单臂和双臂两种产品，已经完成了在沈阳芯源公司TRACK 机上的示范应用，并通过了辽宁省的新产品投产鉴定和科技成果鉴定。 （2）真空机械手 真空机械手主要应用于IC生产中真空腔室内部各工位间晶圆片的传送。新松机器人自动化股份有限公司已经完成了第一代和第二代基于磁流体密封真空机械手的开发。目前已解决（1）真