真空测量简介.ppt

赵风周 物理学院 2011年6月;第四章 真空的测量;第一节 概述;真空度量值的单位采用压强单位，Pa 工程上还使用kPa、MPa 还有毫米汞柱、毫巴、Torr、PPI等单位;三、真空计的分类与测量范围;第二节 总压强测量;1.1 开式U形管真空计;1.2 闭式U形管真空计;1.3 U形管真空计的改进;二、压缩式真空计;水银面升到右图位置时, 测量毛细管内气体体积为V1，压强为p1，而比较毛细管内压强仍为p，测量毛细管和比较毛细管的液面差h=h1=h2，则测量毛细管内压强为;V和d在制作压缩真空计时可测得，为固定数据，则上式可写成;2.2 压缩真空计的测量刻度方法和灵敏度;(3) 无标定刻度法 测量时无基准线，将水银面提升到任意位置固定，利用测高仪分别测出h1和h2，直接代入基准方程求出p;压缩真空计的灵敏度;2.3 压缩真空计的优缺点;三、弹性变形真空计;四、电容式薄膜真空计;4.1 工作原理;4.2 灵敏度;电容薄膜真空计测量的是薄膜两边的压强差，若参考气压很低，则可认为所测压强即为真实压强，且与气体种类无关 例外：气体的介电常数与空气/真空相差很大时，会有很大误差 量程：一般四个量程，扩展很难——电容分辨率 采用高频技术等措施后，精度可达±0.1%;五、热传导真空计;5.1 理论分析;5.2 电阻真空计;工作原理 在10-2~10-3Pa时，将电桥调于一定电压U0，改变R