光刻和刻蚀工艺经典案例.pptVIP

第八章 光刻与刻蚀工艺;第八章 光刻与刻蚀工艺;第八章 光刻与刻蚀工艺;;;;;掩模版;;8.1 光刻工艺流程;8.1 光刻工艺流程;;8.1 光刻工艺流程;;8.1 光刻工艺流程;8.1 光刻工艺流程;8.1 光刻工艺流程;8.1 光刻工艺流程;;8.1 光刻工艺流程;8.1 光刻工艺流程;8.1 光刻工艺流程;8.1 光刻工艺流程;8.1 光刻工艺流程;8.1 光刻工艺流程;8.2 分辨率;表1 影响光刻工艺效果的一些参数;8.2 分辨率;;8.3 光刻胶的 基本属性;;;8.3 光刻胶的基本属性;8.3 光刻胶的基本属性;8.3.1 对比度γ;8.3 光刻胶的基本属性;8.3 ??刻胶的基本属性;8.3 光刻胶的基本属性;8.6 紫外光曝光;8.6.4 接近式曝光;8.6.4 接近式曝光;8.6.5 接触式曝光;8.6.6 投影式曝光;8.6.6 投影式曝光;8.6.6 投影式曝光;8.7 掩模版（光刻版）;8.8 湿法刻蚀;8.8.1 Si的湿法刻蚀;8.8.2 SiO2的湿法腐蚀;8.8.3 Si3N4的湿法腐蚀;8.9 干法腐蚀;8.9.1 干法刻蚀的原理;8.9.1 干法刻蚀的原理;8.9.1 干法刻蚀的原理;8.9.2 SiO2和Si的干法刻蚀;;;刻蚀总结;8.