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光学防反射膜层的可靠性验证测试方法 本方法适用于TOSA/ROSA PLC 的ARC镀膜工艺验证。 引用标准 MIL— C一675C MIL—E一12397 镀膜光学零件试验用浮石一橡皮擦头标准 CCC—C一440 干酪布、漂白布、非漂白布标准 L—T一90 透明胶带和醋酸纤维带标准 可以使用满足等同或类似以上b), c), d)项的其他标准测试用品。 测试样品要求 石英测试片，厚度为1.5毫米，尺寸TBD。 晶片级硅测试片，厚度大于0.67毫米，尺寸TBD。 石英测试片用于耐久性试验和耐摩擦强度试验，包括反射率测试。 硅测试片用于耐久性试验和耐摩擦强度试验，不包括反射率测试。 两种测试片在进行以上测试前，需要按照确定的 TOSA/ROSA PLC 芯片的ARC清洁和镀膜工艺进行镀膜加工。 镀膜层质量要求 膜层质量：膜层质量应均匀，要符合下述要求状态： 内在质量—— 整个膜层应无明显损伤，比如：起层、脱落、裂纹、砂眼。 外观质量(光洁度)— —光学零件膜层必须无污物、印迹、裂纹、尘粒。除规格允许外，光学膜层不能有污物、印迹、裂纹、尘粒，其它按图纸或规定的资料执行；光学膜层上的疵病，诸如污物、印迹、裂纹、尘粒等，若它们符合下列条件，仍可接收。 溅射点和通孔—— 膜层的溅射点和通孔通常作为麻点考虑，不允许超出规格要求。 表面缺陷(擦痕和麻点)——膜层擦痕和麻点的尺寸和质量要求不允许超出规格要求。 满足附着力要求。 满足强度耐摩擦(努氏硬度450kg／mm2)要求， 或满足高强度耐摩擦(努氏硬度450kg／mm2)要求。 满足反射要求 反射率 —— 镀膜后，其光谱反射率的最低点及规格定义的带宽范围内不超出规定值。 可靠性验证测试 耐久性测试 水煮试验——将零件浸入沸水（100度）24小时后，在空气中放置16小时，再将零件浸入沸水（100度）24小时，其后零件镀膜表面应符合外观质量要求，耐摩擦性应满足 5-b)-ii 要求，附着力符合要求，反射率满足规格要求。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。 潮湿试验——将零件暴露于温度为48．9℃ ±2．2℃ ，相对湿度为95％一100％的环境试验箱中168小时，镀膜表面应符合外观质量要求，反射率满足规格要求。耐摩擦性应满足 5-b)-ii 要求，附着力符合要求。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。 PCT —— 将零件置于高压锅内（121度， 2个大气压）24小时后，镀膜表面应符合外观质量要求，耐摩擦性应满足 5-b)-ii 要求，反射率满足规格要求，附着力符合要求。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。当使用三明治方法镀膜时，则必须进行此项测试；否则此项为选择性测试，用于参考。 温度循环试验——将零件置于高低温循环试验箱内，循环试验条件为： -40度~85度， 温度变化速度大于 2度/分钟，高低温停留时间大于30分钟，循环次数为100次，试验后镀膜表面应符合外观质量要求，耐摩擦性应满足 5-b)-ii 要求，附着力符合要求，反射率足规格要求。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。 耐摩擦强度测试 高强度摩擦 —— 用符合 MIL— E一12397 要求的摩擦头摩擦镀膜表面，施加于基底材料上的努氏硬度450kg／mm2，膜层无明显的损伤，如：擦痕、脱膜。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。此项结果用于参考。 中强度摩擦 —— 用符合 CCC—C一440 标准的干净的、干燥的干酪布板摩擦镀膜表面，施加于基底材料上的努氏硬度450kg／mm2，膜层无明显的损伤，如：擦痕、脱膜。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。 附着力 —— 使用符合 L—T一90 标准的透明胶带，把透明胶带紧贴快在膜层上，与膜层近90度角，速撕去透明胶带，膜层无脱膜。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。 十字划痕，胶带测试 —— 使用的工具是5级锋利的刀片。用它在镀膜表面划，要让镜片表面产生很细的划痕。然后再从90°的角度上从第一条划痕开始划，要让镜片表面留下25个正方形的小方块。然后用符合 L—T一90 标准的透明胶带去黏贴镜片表面，180°角拔开胶带，膜层无脱膜。样品数量为石英测试片3片，硅测试片3片。 组合测试 温湿度循环/十字划痕试验——把依据 7-d)要求制作的十字交叉划痕的镀膜测试片放在温湿度试验箱内，保持湿度在95%，温度65°C，持续8个小时的，然后取出镜片检查是否有龟裂，脱层。然后用符合 L—T一90 标准的透明胶带去黏贴十字交叉划过的区域，180°角拔开胶带，总共连续黏贴3次，膜层无脱膜。样品数量为石英测试片3片，硅测试片3片。