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国家标准行业标准规范国家标准行业标准规范
ICS31.200
L55
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT38447 2020
微机电系统( )技术
MEMS
MEMS结构共振疲劳试验方法
—
Micro-electromechanicalsstemtechnolo Fatiuetestin methodof
y gy g g
MEMSstructureusin resonantvibration
g
2020-03-06发布
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