半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分：静电放电（ESD）敏感度测试-机械模型（MM）编制说明.docVIP

国家标准GB/T 4937.27 《半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分：静电放电（ESD）敏感度测试-机械模型（MM）》（征求意见稿）编制说明 一、工作简况 1 任务来源 《半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分：静电放电（ESD）敏感度测试-机械模型（MM）》标准制定是2018年国家标准计划项目，计划项目批准文号：国标委发函【2018】83号，计划代号T-339，由中华人民共和国工业和信息化部提出，由全国半导体器件标准化技术委员会（SAC/TC 78）归口，主要承办单位为中国电子科技集团公司第十三研究所。项目起止时间：2019年~2020年。 2 主要工作过程 2.1 2019.06~2019.08 成立了编制组，编制组成员包括检验试验管理人员、长期从事静电放电敏感度测试（HBM）的技术研究人员和试验成员，以及具有多年国标编制经验的标准化专家。 2.2 2019.09~2019.12 IEC标准翻译和调研，对等同采用的IEC标准进行翻译、研究、分析和比较，到国内有关单位展开深入调研。 2.3 2020.01~2020.03 编制工作组讨论稿，所内召开讨论会，修改、完善标准内容，形成了标准的征求意见稿，并编写编制说明。 3 标准编制的主要成员单位及其所做的工作 本标准主要承办单位为中国电子科技集团公司第十三研究所，副主办单位为河北中电科航检测技术服务有限公司、安徽高芯众科半导体有限公司、北京赛迪君信电子产品检测实验室有限公司、绵阳迈可微检测技术有限公司。在标准编制中，中国电子科技集团公司第十三研究所主要负责标准的翻译、制定、试验及验证工作；河北中电科航检测技术服务有限公司、安徽高芯众科半导体有限公司、北京赛迪君信电子产品检测实验室有限公司、绵阳迈可微检测技术有限公司主要负责标准的文本及格式的校对。 二、标准编制原则和确定主要内容的论据及解决的主要问题 1 编制原则 本标准为半导体器件机械和气候试验方法标准，属于基础标准。为保证半导体器件试验方法与国际标准一致，实现半导体器件检验方法、可靠性评价、质量水平与国际接轨，本标准等同采用IEC 60749-27：2012《半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分：静电放电（ESD）敏感度测试-机械模型（MM）》。 2 确定主要内容的依据 除编辑性修改外，本标准的结构和内容与IEC 60749-27：2012保持一致，标准编写符合GB/T 1.1—2009《标准化工作导则 第1部分：标准结构和编写》、GB/T 20000.2-2009 《标准化工作指南 第2部分：采用国际标准》的规定。 GB/T 4937的本部分以半导体器件对规定机械模型（MM）静电放电（ESD）造成损伤或退化的敏感度为依据，建立了半导体器件ESD测试和分级的标准化流程。本标准的目的是提供可靠、可重复的机械模型ESD测试结果，并由此进行准确分级。本测试方法适用于全部半导体器件，属于破坏性试验。半导体器件的ESD测试选自本测试方法、人体模型（HBM）测试方法（见IEC 60749-26）或IEC 60749系列中的其他ESD测试方法。MM与HBM测试方法的测试结果相似但不完全相同；如无特别声明，选择HBM测试方法。 我国现行的静电放电敏感度测试（MM）的标准主要有：SJ/T 11394-2009《半导体发光二极管测试方法》。 本标准与SJ/T 11394-2009基本相同，规定了试验目的、适用范围、试验设备、试验程序、失效判据等内容，但本标准的适用范围更广，规定内容更全面，增加了短路线在充电电压300V时的电流波形，规定了试验器件的引脚组合，失效判据增加了功能失效等内容。详细对比如表1所示。通过比对，未发现不合理的内容，故可以等同翻译。 表1 本标准与SJ/T 11394-2009比对表 标准 项目 GB/T 4937.27 半导体器件 机械和气候试验方法 静电放电（ESD）敏感度测试-机械模型（MM） SJ/T 11394-2009 半导体发光二极管测试方法 目的 提供可靠、可重复的机械模型 ESD试验结果，并由此进行准确分级。 测试器件机器模式的静电放电耐受电压，并进行分类。 适用范围 适用于全部半导体器件 发光二极管 试验设备 规定了波形发生器的等效电路、电流波形、测试评价用负载和电流传感器，负载包括短路线和500Ω电阻器两种，通过短路线的电流波形规定了最大峰值电流（充电电压为100V、200V、300V、400V）、次峰值电流（最大峰值电流的67%～90%）、主脉冲的周期（63ns～91ns），规定了通过500Ω电阻的300V电压放电电流波形参数IPR、I100 规定了脉冲发生器的等效电路、测试评价用负载和电流传感器，负载包括短路线和500Ω电阻器两种，通过短