IZO透明导电氧化物薄膜的研究doc资料.pptVIP

IZO （10 wt.%）薄膜电学性能随厚度的变化关系 IZO薄膜的电阻率、载流子浓度和载流子迁移率随厚度的变化关系 IZO （10 wt.%）薄膜电学性能随温度的变化关系 IZO薄膜的电阻率、载流子浓度和载流子迁移率随温度的变化关系 2 4 3 1 3 3 报 告 内 容 研 究 意 义 实 验 方 法 实 验 成 果 课 题 总 结 目前，透明导电二元氧化物 IZO薄膜作为ITO的替代物，正得到越来越广泛的关注。 透明导电IZO薄膜 透明导电IZO薄膜 组分可调：多重物理化学特性。 低温制备：塑性好，高迁移率。 功函数高：可用于OLED。 与ITO相比： 功函数高，用于OLED IZO能够减小阳极空穴势垒，提高空穴注入效率 5.0 eV 4.7 eV 透明导电IZO薄膜 Han-Ki Kim，Surface Coatings Technology 203 (2008) 652–656 透明导电IZO薄膜 IZO为阳极的OLED开启电压低，发光亮度高 2 4 3 1 3 3 报 告 内 容 研 究 意 义 实 验 方 法 实 验 成 果 课 题 总 结 国际上关于IZO薄膜的研究 磁控溅射 脉冲激光沉积（PLD） 化学气相沉积（CVD） 溶胶—凝胶沉积 喷雾热分解 高 能 电 子 束 瞬 间 烧 蚀 粒子能量大 化学