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电子束与离子束加工.pptxVIP

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  • 2020-04-19 发布于上海
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电子束与离子束加工.pptx

    第一节 电子束加工;;二、电子束加工装置;电子束运动轨迹;电子束在电磁透镜中受力;三、电子束加工应用;三、电子束加工应用;三、电子束加工应用;三、电子束加工应用;三、电子束加工应用;;;第二节 离子束加工;（二）、离子束加工分类;1、离子刻蚀;2、离子溅射沉积;3、离子镀;4、离子注入;（三）、离子束加工特点;二、离子束加工装置;考夫曼型离子源;双等离子体型离子源;三、离子束加工的应用;1.蚀刻加工;2.离子束镀膜加工;3.离子注入;3.离子注入;双离子束溅射沉积系统;LKJ系列离子束刻蚀系统

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