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电子探针的功能 电子探针的功能：进行微区成分分析.它是电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。其原理是用喜聚焦电子束入射样品表面，激发出样品的特征X射线，分析特征X射线的波长（或特征能量），即可知道样品中所含元素的种类（定性分析），分析X射线的强度，则可知道样品中对应元素含量多少（定量分析）。 分析理论基础及方法 理论基础： 莫塞莱定率 h: plank常数K: 与马德堡常数有关 σ：屏蔽常数 常用K系 L系 §12.1 电子探针结构与工作原理 ------电子探针结构 电子探针仪与SEM镜筒大致相同,仅接收物理信号有区别,现一般在SEM上加装特征X射线探测附件,可对同一区进行组织、成分分析.两种展谱方式1.WDS：Wave Dispersive Spectroscopy 利用波动性? 逐一展谱2.EDS：Energy Dispersive pectroscopy 利用粒子性h? 同时展谱§12.1 电子探针结构与工作原理 -----波谱仪(WDS) 1.工作原理 常用波谱仪为全聚集直进式,由分光晶体、X射线探测器和相应机械传动装置组成.其原理如下:样品、分光晶体、探测器位于聚焦圆上,入射电子束照射样品,因含不同元素,产生不同波长特征X射线,位于B点的分光晶体(由一组平行晶面d组成)与特征X射线的某一波长,满足衍射条件,产生的衍射线会聚于C点,