薄膜的制备工艺(PPT43页).pptVIP

薄膜的制备工艺 贾增民 53所 主要内容 1.什么是薄膜 1.1薄膜的几种定义 1.2 薄膜的分类 1.3 薄膜的特点 2.薄膜的制备工艺 2.1物理气相沉积 2.2化学气相沉积 2.2.1金属有机化学气相沉积 2.3溶胶凝胶法 2.4电沉积 1.什么是薄膜 ① 由单个的原子、离子、原子团无规则地入射到基板表面，经表面附着、迁徙、凝结、成核、核生长等过程而形成的一薄层固态物质。 1.1薄膜的几种定义 ②夹在两个平行平面间的薄层。 ③ 采用特定的制备方法在基板表面上生长得到的 一薄层固态物质 。 ●薄膜(thin film)：由物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、溶液镀膜法等薄膜技术制备的薄层。1微米 ●厚膜(thick film)：由涂覆在基板表面的悬浮液、膏状物经干燥、煅烧而形成。10微米 主要方法：丝网印刷(Print)、热喷涂(Spray) 历史：陶瓷表面上釉 涂层 薄膜 厚膜 说明: 溶胶－凝胶(Sol-Gel)、金属有机物热分解(MOD)、喷雾热解和喷雾水解等属于薄膜方法，但从原理上更接近厚膜方法。 SAPPHIRE（蓝宝石）