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- 2020-04-27 发布于广东
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110660876 A
(43)申请公布日
2020.01.07
(21)申请号 201810700976.8
(22)申请日 2018.06.29
(71)申请人 中天科技精密材料有限公司
地址 226009 江苏省南通市开发区中天路3
号
申请人 江苏中天科技股份有限公司
(72)发明人 王同心 李威威 殷镭城 薛群山
沈一春
(74)专利代理机构 深圳市赛恩倍吉知识产权代
理有限公司 44334
代理人 苏广秀 徐丽
(51)Int.Cl.
H01L 31/054(2014.01)
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