CN108317862A-石英管加热装置及石英管加热方法.PDFVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 108317862 A (43)申请公布日 2018.07.24 (21)申请号 201710026748.2 (22)申请日 2017.01.14 (71)申请人 中天科技精密材料有限公司 地址 226010 江苏省南通市开发区中天路3 号 申请人 江苏中天科技股份有限公司 (72)发明人 王占举　沈一春　庄卫星　张贤根　 赵海伦　 (74)专利代理机构 深圳市赛恩倍吉知识产权代 理有限公司 44334 代理人 谢志为 (51)Int.Cl. F27D 11/02(2006.01)