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- 2020-04-27 发布于广东
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108598208 A
(43)申请公布日
2018.09.28
(21)申请号 201810416548.2
(22)申请日 2018.05.03
(71)申请人 中天科技精密材料有限公司
地址 226009 江苏省南通市经济技术开发
区中天路3号
申请人 江苏中天科技股份有限公司
(72)发明人 王同心 姜爱叶 殷镭城 薛群山
沈一春
(74)专利代理机构 南京品智知识产权代理事务
所(普通合伙) 32310
代理人 奚晓宁 杨陈庆
(51)Int.Cl.
H01L 31
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