PERC电池工艺KOH体系碱刻蚀抛光技术介绍 -捷佳伟创.pdfVIP

PERC电池工艺 KOH体系碱刻蚀抛光技术介绍 深圳捷佳伟创研发部 2018/6 Outline 1 碱抛光刻蚀技术发展介绍 2 碱刻蚀技术搭配PERC电池 3 碱抛光刻蚀技术的成本优势 4 小结 2 湿法设备的发展轨迹 累计向市场销售约60GW的湿法设备 ！ 未来 更高效电池设备 1.提供高端电池工艺设备 （HIT\IBC\Top-con等 ）； 2014-今 2.设备的选材 ，制造等环节全面 升级 ； 国产设备国际化 1.国产设备品质、功能、 稳定性、产能都大幅度 1.普通电池环节品质可以和进 提升 ； 口设备相当 ； 2.能够提供工艺支持 ， 2.市场 占有率超越进口设备 ， 解决设备与工艺的融合 达到60%以上 ，成本下降 问题 ； 50%~60% ； 3.设备与工艺融合更深入 ，同 1.开始国产化设备 ，但 时实现高度 自动化 ； 功能、稳定性依然不 2010-2013 1.全部为国外进口 ，价 能与国外设备比较 ； 格在千万左右 ； 2.尚未掌握设备与工艺 国产设备规模化 2. 机器调试依赖国外 的匹配问题 ； 技术人员 ，收费昂贵 ； 2006-2010 国产化的开始 2003-2005 依赖进口设备 湿法设备的发展轨迹 l 湿法设备 （包含制绒、刻蚀等其他清洗设备 ）到 目前为止市场 占有率已经超过进口设备 ； 捷佳创 自2010年开始致力于碱刻蚀抛光技术设 备的研究 ，替代传统的酸刻蚀设备 2012年第一代碱刻蚀抛光设备在客户端成功量产 ！ 第一代链试碱抛光设备 第二代槽式碱抛光设备 第三代高效槽式碱抛光设备 • 辅材升级 ，KOH体系抛光研制成功 •产能 ：400Pcs/批 ，6500Pcs/ hour ； • 匹配PERC产线 ，满足背面平整度要 求 ，电性能较酸刻蚀有明显优势, EL 上线 ，背面平整度满足要求 ，解决N •兼容背面刻蚀抛光及单晶背面制绒工艺 ； 问题突出 ； 元素污染问题 ； •支持多种添加剂及混合添加剂技术 ； • 使用槽式设备 ，整体COO下降 ； •支持最薄120um硅片 • 搭配TM