二次电子学年论文.pdfVIP

学年论文(课程设计) 题 目 斜入射金属时二次电子的发射系数 学生姓名 高 柱 学 号 20081338026 学 院 数理学院 专 业 材料物理 指导教师 谢 爱 根 二Ｏ一 一 年 九 月 一 日 斜入射金属时二次电子的发射系数 摘要：在具有一定能量的原电子轰击下, 从物体表面发射电子的现象称为二次电子 发射，基于二次电子的主要物理发射过程，推导出了原电子的入射能量(W )、每个原电 p0 子以 θ入射角进入金属内时所释放的二次电子数(δ )和入射角(θ)之间的关系。另外 PE θ 还确定了每个原电子以0º入射角进入金属内时（即垂直入射）所释放的二次电子数(δ ) PE0 和原电子的入射能量(W )之间的关系。根据实验结果可得出在 0º角入射时的比例(β) p0 0 和原电子的入射能量(W )之间的关系。还可以得到在 θ角入射时的比值(β )、原电子 p0 θ 的入射能量(W )以及入射角(θ)之间的关系。根据在 θ入射角下二次电子产量(δ )、 p0 θ 在 0º入射角下二次电子产量(δ)、在 θ入射角下的背散射电子发射系数(η )、在 0º入 0 θ 射角下的背散射电子发射系数(η)、β 、β 、δ 和 δ 的关系，可以推导出关于 0 θ 0 PE θ PE0 在 θ入射角下能量在 2-10 keV 以及 10-102keV 范围内的二次电子发射系数(δ )、在 0º θ 入射角下二次电子发射系数(δ)、η 、η 、W 和入射角(θ)的通式。比较由通式计 0 θ 0 p0 算出的二次电子发射系数和实测出的铝、镍、铅、铍的发射系数，结果表明这些得出的 0 公式通用于对入射角 0-80 范围内二次电子发射系数的估测。 关键词：二次电子发射系数 比值 角度范围 金属 蒙特卡洛法 1、简介 随着电子技术的发展, 二次电子发射得到愈来愈广泛的应用, 因此, 二次电子发射 现象引起了人们极大的兴趣, 人们对各种物质二次电子发射的特性、机理和应用进行了 广泛深入的研究，其中二次电子发射系数是一个重要的研究内容，许多学者已经研究过 二次电子发射系数以及它们相应的公式[1-8] 。用于确定在 θ