材料分析技术.docxVIP

材料分析技术 扫描电子显微镜 基本原理 理论基础：，电子波长由加速电压V决定。 电子与物质的相互作用 ①二次电子：从距样品表面100埃左右深度范围内激发出来的低能电子，能量较低。因此二次电子的反射区域与入射电子束轰击的区域重合度很好，故成像分辨率很高。表面形貌信息的主要来源，也可以观测磁性材料和半导体材料。 ②背散射电子：除了可以显示表面形貌外，还可以显示元素分布状态和相轮廓。 ③吸收电子：这部分电子在试样和地之间形成的电流等于入射电子流和反射电子流的差额，可以用来显示样品元素表面分布状态和试样表面形貌。 ④X射线：进行微区元素的定性和定量分析。 扫描电子显微镜就是通过电子枪发射高能量的电子束