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超薄太阳能硅片线切割工艺中悬浮液特性研究 摘要: 　　多线切割机(MuIti．Wire Saw，简称线锯)以极高的生产效率和出片率广泛应用在超薄大直径太阳能硅片加工领域。硅片在太阳电池的成本中几乎占了60％，所以利用线切割设备的先进工艺和技术特性来降低硅片成本、节约 ... 　　多线切割机(MuIti．Wire Saw，简称线锯)以极高的生产效率和出片率广泛应用在超薄大直径太阳能硅片加工领域。硅片在太阳电池的成本中几乎占了60％，所以利用线切割设备的先进工艺和技术特性来降低硅片成本、节约原材料、提高生产效率已成为该领域目前关注的焦点。　　切割过程是造成硅片表观缺陷、应力、破损和机械损伤的最主