焦平面APD探测器的国内外技术现状和发展趋势.pdf

红外焦平面探测器的国内外技术现状和发展趋势 一、 焦平面 APD探测器的背景及特点 焦平面 APD探测器主要是由： APD阵列和读出电路 (ROIC) 两部分组成，其中 APD是核心 元件。 1、APD 雪崩光电二极管 （APD）是一种具有内部增益的半导体光电转换器件， 具有量子响应 度高、 响应速度快、 线性响应特性好等特点， 在可见光波段和近红外波段的量子效率可 达 90%以上，增益在 10～ 100 倍，新型 APD材料的最大增益可达 200 倍，有很好的微弱 信号探测能力。 2、APD阵列的分类 按照 APD的工作的区间可将其分为： Geiger-mode APD （反向偏压超过击穿电压）和 线性模式 APD （偏压低于击穿电压）两种。 （1）Geiger-mode APD 阵列的特点 优点： 1）极高的探测灵敏度，单个光子即可触发雪崩效应，可实现单光子探测； 2 ）GM-APD输出信号在 100ps 量级，即有高的时间分辨率，进而有较高的距离 分辨率，厘米量级； 3 ）较高的探测效率，采用单脉冲焦平面阵列成像方式； 4 ）较低的功耗，体积小，集成度高； 5 ）GM-APD输出为饱和电流，可以直接进行数字处理，读出电路 (ROIC) 不需要 前置放大器和模拟处理模块，即更简单的 ROIC。 缺点： 1）存在死时间效应： GM-APD饱和后需要一定时间才能恢复原来状态，为使其 可以连续正常工作需要采用淬火电路对雪崩进行抑制。 2 ）GM-APD有极高的灵敏度，其最噪声因素更加敏感，通道之间串扰更严重。 （2 ）线性模式 APD阵列的特点 优点： 1 ）光子探测率高，可达 90%以上； 2 ）有较小的通道串扰效应； 3）具有多目标探测能力； 4 ）可获取回波信号的强度信息； 5） 相比于 GM-APD，LM-APD对遮蔽目标有更好的探测能力。 缺点： 1）灵敏度低于 GM-APD；（现今已经研制出有单光子灵敏度的 LM-APD） 2 ）读出电路的复杂度大于 GM-APD（需对输入信号进行放大、滤波、高速采 样、阈值比较、存储等操作） 。（其信号测量包括强度和时间测量两部分） 按照基底半导体材料 APD可分为： Si APD 、Ge APD、 InGaAs APD、HgCdTe APD。 其中 Si 的由于波长在 1um左右，由于材料限制很难做到大于 32*32 的阵列，再考虑到 人眼安全以及军事对高功率激光的需求，工作波长在： 1.5um 的 InGaAs APD 及 HgCdTe APD为研究的热点内容。 二、 国外的技术现状 按照 APD的工作区间进行分类讨论。 1、基于 Geiger-mode APD(GM-APD) 的焦平面探测器 （1）技术手段： 1 ）APD阵列：主要采用 p 型衬底金属有机气相外延（ MOCVD）及台面工艺方法； 或者 n 型衬底 P扩散平面工艺方法制备。 2 ）ROIC：采用 CMOS工艺代工流片。 3 ）封装技术：采用陶瓷封装等将