半导体污染及其防治研究.docVIP

PAGE PAGE 1 半导体污染及其防治研究 赵佳焱 【理科实验班（地球系统科学与环境）171830047】 摘 要：随半导体产业发展扩大，半导体圆片生产过程中各种沾污杂质问题严重影响了其质量，本文介绍了半导体生产过程中的各种杂质以及对应的去除的各种方法。同时根据半导体行业生产过程中产生的环境污染问题，提出清洁生产的预防措施。 关键词：半导体；污染；防治 引言： 随着半导体器件和大规模集成电路的迅速发展，半导体制造业半导体被沾污以及制造过程中造成的环境污染问题越发受到重视。晶片表面的颗粒和杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率，而半导体工业涉及到300多种不同性质的原料和溶剂，