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4. 光电位置敏感器件（ PSD ） 半导体位置探测器（ Position Sensitive Detector ） 简称为 PSD ，它能连续准确地给出入射光点在光敏面上的 位置。 PSD 分为一维 PSD 和二维 PSD ，分别可确定光点的一 维位置坐标和二维位置坐标。 第 10 章 光电式传感器 10.1 光电式传感器的工作原理及基本组成 10.2 光电式传感器中的敏感元件 10.2.1 外光电效应型光电器件 10.2.2 内光电效应型光电器件 10.3 光电式传感器的类型及设计 10.4 光电式传感器的应用 光电式传感器是利用光电器件把光信号转换 成电信号的装置，光电式传感器工作时，先将 被测量转换为光量的变化，然后通过光电器件 再把光量的变化转换为相应的电量变化，从而 实现非电量的测量。其核心（敏感元件）是光 电器件，基础是光电效应。 10.1 光电式传感器的工作原理及基本组成 光电式传感器可用来测量光学量或测量已先行转换为光学量的其 它被测量，然后输出电信号。 测量光学量时，光电器件是作为敏感元件使用；而测量其它物理 量时，它作为变换元件使用。 光电式传感器由光路及电路两大部分组成，光路部分实现被测信 号对光量的控制和调制，电路部分完成从光信号到电信号的转换。 光学元件 光电元件 测量电路 被测 光量 光 学 元 件