三氯硅烷安全技术说明书.doc

三氯硅烷安全技术说明书 别名：硅仿；硅氯仿；三氯甲硅烷 特 别 警 示 ★有腐蚀及强烈刺激作用 ★遇湿易燃 ★禁止喷水处理泄漏物或将水喷入容器 化 学 式 分子式HSiCl3 危险性类别 4.3类 遇湿易燃液体 危 险 性 燃烧爆炸危险性 ·易燃，蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热极易燃烧爆炸 ·蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火源会着火回燃 ·遇水反应易放出易燃气体，导致燃烧爆炸 ·在火场中，受热的容器有爆炸危险 健康危害 ·职业接触限值：MAC 3mg／m3 ·怠崎性：大鼠经口LD501030mg／kg；小鼠吸人LC50 1500mg/m3(2h) ·对眼和呼吸道黏膜有强烈刺激作用,急性中毒时出现流泪、咳嗽、气急、胸闷等，重者发生肺水肿 ·眼和皮肤接触其液体可引起灼伤 环境影响 ·对水生生物有害 ·易挥发，是有害的空气污染物 理 化 特 性 理化特性 ·无色液体，有刺激性臭味 ·沸点：31.8oC ·相对密度：1.34 及 用 途 用途 ·是合成有机氯硅烷的原料，也可用作硅外延片生产过程中的硅源 个 体 防 护 ·佩戴全防型滤毒罐 ·穿封闭式防化服 应 急 行 动 隔离与公共安全 泄漏：污染范围不明的情况下，初始隔离至少300m，下风向疏散至少1000m。然后进行气体浓度检测，根