三sem结构和原理new.pptxVIP

第一节 扫描电镜的结构;扫描电镜的基本构造 基本构成: 电子光学系统 信号检测与转换系统 显示与记录系统 真空系统和供电系统;1、电子枪 ;3. 扫描线圈：（偏转线圈）; ③ 光栅扫描 行（水平）扫描，幀（垂直）扫瞄 ④ 扫描信号发生器 特点：产生电流强度随时间增大而增大， 当但达到设定值时，瞬间降为零 ⑤ 同步的作用 使得样品上的部位和CRT图像一一对应 ⑥ 放大控制 改变镜筒中扫描线圈电流大小→改变样品 上扫描区域大小→改变放大倍数 ;; 4 样品室 ① 空气锁闭装置 作用: 换样时保持镜筒真空 延长灯丝寿命 ② 样品台 可自由X,Y,Z三维运动 可旋转360度(水平) 可倾斜:-15度~+90度 ③ 样品室周围可驳接 SE,BE,X-ray EDS探头 ;二 信号检测与转换系统;第9页/共39页;第10页/共39页; 3. 光电倍增管 光子→电信号，106增益 4. 放大器 前置放大 视频放大 经两级放大之后的电压信号调制显象管的栅极，以控制显象管内电子束打在荧光屏上的光点亮度;三 信号显示与记录系统;四 真空系统和供电系统 1、机械泵+扩散泵，真空度优于 10-5Torr 2、分子涡轮泵、离子泵(超高分辨率扫描电镜场发射电子枪使用）;扫描电镜结构方框图;第二节 SEM成像原理; 1 信号的种类: 参见图56 2 与SEM成像有关的信号 ① 二次电子SE（10nm内的信息) 定义：样品（物质）原子核外电子受入射电子激 发后逸出样品表面时,称其为SE 关系：SE数量↗图像质量↗ 图像质量：图像反差、图像噪波点清晰度 ② X-ray（50~500nm) 伦琴射线，?＝0.001~10nm 分类：特征X-ray（硬） ，连续X-ray（软） ;X-ray;③背散射电子BE(50~100nm);第19页/共39页;第20页/共39页; ② 原子序数效应 特点： SE产生率随原子序数增加而增加 关系： 高Z区→被激发的SE数多→像亮 低Z区→被激发的SE数少→像暗 ★为何要离子溅射（喷镀黄金层）? 防止材料的损伤和荷电效应 提高SE发射率 排除原子序数效应的干扰 ③ 荷电效应(排除：导电处理) ④ 边缘效应(排除：降低加速电压);3. SEM的基本成像过程;第三节 SEM的性能与应用;一、SEM的性能;二、SEM的特点： ★ 放大倍数范围大， 景深大，图像富有立体感 操作简单，样品损伤和污染小 制样简单，样品可以很大 表面观察和微区成分分析可同时进行 TEM：?高，适于研究细胞的精细结构， 病毒分子，二维图像，仪器复杂 SEM：表面结构研究，三维图像 三、 SEM的应用 观察表面超微结构，微区成分分析 ;第26页/共39页;作业;第28页/共39页;第29页/共39页;第30页/共39页;第31页/共39页;第32页/共39页;第33页/共39页;微粉作业所获得的中药微粉微观观察 ——细度细，无完整细胞；混合均匀，微团粒结构。;六味地黄丸;六味地黄丸;灵芝孢子粉;灵芝孢子粉;灵芝孢子