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文章编号 1004 924X(2003 02 0171 05
双光源投影法细丝直径测量
赵 斌 , 颜伟彬
(华中科技大学 机械科学与工程学院 仪器系 , 湖北 武汉 430074
摘要 :提出一种细丝直径在线测量方法 , 利用半导体激光作为点光源 , 发出球面波 ; 通过细丝后在其后菲涅 耳衍射区留 下 阴影 , 测量阴影宽度可得细丝直径 ; 同时 , 利用两个相距一定距离 的点光源对同一细丝投影 , 测量两个投影 之间的距离 可 得细丝位置的晃动量 , 从而校正直径测量值。 关 键 词 :在线直径测量 ; 投影 ; 半导体激光 ; 点光源 中图分类号 :T B92 文献标识码 :A
Measurement of wire diameter by two point sources projection
ZHAO Bin, YAN Wei_bin
(Department o f Instrumentation, School of Mechanical Science and Engineering, H uaz hong University o f Science and Technology , W uhan 430074, China
Abstract:In the new w ire diameter online measurement system proposed, laser diode w as used as the point light source to em it spheric w aves passing through a wire. The diameter of a thin w ire was obtained by measuring the shadow in the Fresnel diffraction zone. T wo point sources at some distance w ere used to gen erate tw o shadow s of the same wire at the same time and the deviation of the w ire can be determined by the distance betw een the tw o shadows so that the w ire diameter can be calibrated. Key words:online measurement; pro jection; laser diode; point lig ht source
1 引 言
线材直径的在线测量是普遍的生产需求 , 例 如金属导线的测量 , 纺织线、 塑料线的测量等。目 前线材直径的测量有光电能量法 [1]、 激光束扫描 法 [2_4]、 激光 衍射法 [5]、 投 影成像法 [6_7]等。各种 方法都有各自的适用范围和优缺点。光电能量法 受光源和探测器飘移影响大。激光束扫描法适用 于直径大于 1mm 的线材。衍射法适用于直径小 于 0. 1mm 的线材 (如光纤 。投影成像法就是将 被测物成像到一个屏上 , 再测量屏上的阴影尺寸 ; 理论上适应各种直径范围 , 但若用平行激光照明 ,
则存在准直透镜球差所导致的误差 , 若用非相干
光照明 , 则为解决离焦晃动问题 , 需要用远心光 路 , 且仍存在离焦像边缘判断精度不高的问题。 提出一种双光源直接投影法 , 它不需要成像 光学透镜系 统 , 直接测量扩展后阴 影的尺寸 , 并 且 , 利用自带的长度基准可补偿离焦晃动的影响 , 可用于直径 0. 1~1mm 的测量。
2 原 理
图 1为细丝对点光源所发出球面波的直接投 影示意图 ; 显然 , 由于细丝对光源的张角很小 , 阴 影的宽度与细丝的直径是成正比的。
收稿日期 :2002 09 17; 修订日期 :2003 01 17. 基金项目 :国家自然科学基金 (No.第 11卷 第 2期 2003年 4月
光学 精密工程
Optics and Precision Engineering
Vol. 11No. 2 Apr. 2003
图 6中三条直线与纵坐标的交点就是 D 。 分 别约 为 43、 33、 18(像素 , CCD 每个 像 素 为 14 m, 对应直径为 0. 602、 0. 462和 0. 252mm 。可 见直径较大时测量值与实际值相符合 , 而当直径 较小时 , 与 D 存在非线性 , 且直径越小 , 非线性 越大 , 其原因是直径越小 , 衍射及其它影响越大。 因此 , 一方面有必要深入地研究在接近夫朗和费 衍射区的细丝衍射宽度计算问题 , 另一
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