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.tw/ Kun Shan University 半導體工程特論 蕭育仁 教 學 大 綱 科目名稱(中文) 半導體工程特論 科目代碼 KJ5620 授課部別 研究所碩士在職專班 授課班級 專班電機研一Ａ 科目名稱(英文) 學分數 3 上課總時數 3 授課教師 蕭育仁 科目類別 專業核心科目 修課別 選修課程 實習時數 0 授課地點 教學目標 深入了解半導體製程，應用於相關元件發展與業界。 教學內容 01 半導體製程技術導論 02 積體電路生產的簡介 03 半導體基礎原理 04 半導體元件與製程 05 晶圓製造和磊晶成長 06 加熱製程 07 微影技術 08 電漿的基礎原理 09 離子佈植 10 蝕刻 教學內容 11 化學氣相沉積與介電質薄膜 12 金屬化製程 13 化學機械研磨 14 製程整合 15 CMOS 製程 16 More than Moore技術 17 總結與未來趨勢 18 期末報告 19 課程結論與展望 20 .tw/ Kun Shan University