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MB365
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中文操作手册
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自动高速平面固晶机
中文操作手册
文件号: GC-2011002-A
版本号: A
发布日期: 12Apr 2011
版权所有: 综科光电有限公司
版 权 声 明
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本手册之内容,若经修改,恕不另行通知。
- 1 -
目 录
第1 章 安全注意事项- 4 -
1.1. 一般防护措施- 4 -
1.2. 机器安装防护措施- 5 -
1.3. 机器操作防护措施- 5 -
第2 章 机器简介- 6 -
2.1 机器简介- 6 -
2.2 技术规格- 6 -
第3 章 机器结构- 8 -
3.1 整机外观及部件说明- 8 -
3.2 主要部件结构- 8 -
3.3 电源控制- 9 -
3.4 控制面板- 9 -
3.5 压缩气表/真空表及其调节旋钮 - 11 -
3.6 操作菜单- 12 -
第4 章 机器的安装- 15 -
4.1 机器的安装- 15 -
4.2 安装吸嘴- 15 -
4.3 顶针安装- 18 -
4.4 安装点胶头- 19 -
4.5 添加银浆- 19 -
第5 章 机器设置- 20 -
5.1 晶圆台三点一线设定- 20 -
5.2 载料板二点一线设定- 24 -
5.3 银浆弥补设定- 26 -
5.4 晶圆影像校正- 26 -
5.5 载板影像校正- 29 -
5.6 拾晶高度的设定- 31 -
5.7 固晶高度的设定- 33 -
5.8 取浆高度的设定- 34 -
5.9 固浆高度的设定- 34 -
5.10 上下料位置设定- 36 -
第6 章 平面固晶产品设置- 37 -
6.1 芯片设定- 37 -
6.2 拾晶区域设定- 39 -
6.3 晶圆边界设定- 40 -
6.4 学习固晶程序- 40 -
6.5 重温/修改当前固晶程序- 47 -
第7 章 自动固晶- 51 -
- 2 -
7.1 页面各按键说明- 51 -
7.2 自动固晶的操作流程- 52 -
第8 章 机器参数- 58 -
8.1 参数界面- 58 -
8.2 固晶臂参数及其说明- 58 -
8.3 固晶头参数及其说明- 60 -
8.4 银浆臂参数及其说明- 61 -
8.5 银浆头参数及其说明- 62 -
8.6 顶针参数及其说明- 63 -
8.7 晶圆
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