Q_150203 NMTW 004-2020多晶硅生产用氢气中金属杂质的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf

Q/NMGTW 内蒙古通威高纯晶硅有限公司企业标准 Q/NMTW 004-2020 多晶硅生产用氢气中金属杂质的测定 电感耦合等离子体质谱法 2019 10 23 2019年10 月20 日发布 年 月 日实施 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 Q/NMTW 004-2020 本标准依据GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则 第1部分：标准的结构和编写》编写。 本标准在制定时考虑了 《GB/T 19001-2016质量管理体系 要求》、《GB/T24001-2004环境管理 体系 要求及使用指南》、《GB/T28001-2011职业健康安全管理体系 要求》及 《GB/T23331-2009 能 源管理体系 要求》标准的要求，使本规范在实施时能更好的与相关体系有机结合。 本标准由内蒙古通威高纯晶硅有限公司提出。 本标准由内蒙古通威高纯晶硅有限公司归口。 本标准起草单位：内蒙古通威高纯晶有限公司起草。 本标准主要起草人：侯海波。 本规范于2019-10-20日发布，2019-10-23日正式实施。 第 2 页 共 6 页 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 Q/NMTW 004-2020 警告——使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问题。 使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。 多晶硅生产用氢气金属杂质的测定 电感耦合等离子体质谱法 1 范围 本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪 （ICP-MS）测定多晶硅生产用氢气中钠、镁、铝、钙、铬、 锰、铁、镍、铜、锌元素含量的分析方法。 本标准适用于氢气中钠、镁、铝、钙、铬、锰、铁、镍、铜、锌元素含量的测定。各元素测定范围 0.01ng/g~100ng/g。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T4842 氩 GB/T 11446.1 电子级水 GB/T25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级 3 原理 气体中金属元素通过洗气瓶中的吸收液进行吸收和富集，吸收液由载气 （高纯氩）引入雾化系统进行 雾化，以气溶胶形式进入等离子体，在高温和惰性气体中被去溶剂化、汽化解离和电离，转化成带正电的 正离子，经离子采集系统进入质谱仪，质谱仪根据质荷比进行分离，根据元素质谱峰强度测定样品中相应 元素的含量。 4 试剂和材料 4.1 试验用水：符合GB/T 11446.1 中EW- Ⅰ级的要求。 4.2 硝酸 （ρ 1.42g/mL），金属杂质含量低于0.01μg/L。 4.3 硝酸溶液 （5+95）。 4.4 硝酸溶液 （1+9）。 4.5 混合标准溶液：各金属元素浓度 1ug/g。 4.6 高纯氩：符合GB/T4842 的要求 。 4.7 吸收瓶：500mL,PFA 材质 （可熔性聚四氟乙烯或全氟烷氧基共聚物）。 5 试验设备 5.1 电感耦合等离子体质谱仪。 质量分辨率 （0.5-1.2）amu，可调。 3 6 第 页 共 页 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 Q/NMTW 004-2020 5.2 气体流量计 用流量计测量不溶于水的气体样品的吸收量。流量测定范