MEMS可靠性教学提纲.pptxVIP

MEMS可靠性 孟海洋1可靠性研究的意义2可靠性研究的现状MEMS可靠性3常见失效模式和失效机理可靠性测试系统45可靠性研究的展望 MEMS技术的重要性 美国喷气推进实验室（JPL）在NASA支持下对MEMS空间应用可靠性进行了广泛研究，发布了MEMS空间应用的可靠性保障指南（MEMS reliability assurance guidelines for space application）；美国桑地亚实验室（SNL）在DARPA支持下，详细研究了MEMS基本单元的可靠性测试结构、试验与失效模式报告（MEMS Reliability：Infrastructure ， Test structure ，experiments，and Failure modes）费用使用可靠性整体分析方法，将可靠性问题贯穿于产品开发整个过程中MEMS失效功能退化性失效灾难性失效温度湿度灰尘断裂粘附磨损腐蚀 浴盆曲线温度输出迟滞偏置漂移热应力塑性变形芯片翘曲 应力释放槽增加玻璃厚度 粘附释放有关粘附使用中粘附悬臂梁常见粘附失效及其解决方案深反应离子刻蚀工艺（Deep reactive-ion etching）断裂延伸的止动侧壁温度磨损粘附灰尘失效模式失效机理断裂振动冲击静电放电分层腐蚀湿度 温度、湿度、振动综合作用可靠性测试系统展望研究失效机理与失效模型制造新型检测分析设备分析特定MEMS