macleod说明书知识讲解.ppt

版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司 设计工具 有4个选项： Edge Filter..., Herpin..., Induced Transmission Filter Design... Symmetrical Periods…. 可以辅助建立一个特定类型的薄膜。 Edge Filter... Edge filters Edge Filter... 是用来自动设计这样一个周期性结构的工具。是基于1/4波长stacks。 用于构建平板偏振器。 一般可以考虑成如(0.5HL0.5H) 或(0.5LH0.5L)的对称周期性结构。 [对称周期性结构参见 Herpin...] 还有更复杂的对称二种材料的周期性结构 (aAbBcAbBaA) ，其中A 和 B高和低折射率材料(或者反过来) 。可以通过调整a,b,c来消除偏振， 尽管对很多层的对称周期性结构也可以调整，但最好是用5层周期。 Edge Filter参数设置 Edge Filter设计 只要选择好了，然后点Make Edge Filter就会出现一个设计结果，同时在公式对话框中会显示其公式。 下面是一个短波通滤波器(边缘510nm)。 Calculate Parameters参数 Film Model： 薄膜模型是 inhomogeneous和不吸收，还是均匀和吸收的。 Incident Angle：入射到薄膜上的角度 。最大为 45度。. Polarization：倾斜测量的偏振光分量(S,P)。在整个测量过程中，必须用同一个偏振分量。 Match Extrema： 在常规操作中，不是总能精确适合极值波长， Substrate Material：选择基底材料 。 Use Spectrum：选择了时，用透过率数据确定薄膜的光学常数，如果没选，会用Substrate Material的信息确定其光学常数。 光学常数提取过程 点Extract n k就会进行计算。 计算结果 计算的光学常数结果 光学常数曲线 从计算结果中创建材料 可以用Create Material菜单选项建立材料。有三个选项：From Inner n, From Outer n, From Mean n. 如果模型是均匀的，则这些结果是一样的，如果是非均匀的，则这些模型明显不一样。 如果检查反射和/或透射曲线，会发现极值点不是很匹配，此时可以选择迫使结果与极点位置匹配，而不是选择Match extrema。此选项先计算光学常数和膜层厚度，然后迫使光学常数与极值点匹配。 得到基底的光学常数 可以用Options Substrate n,k T ，从透射率和反射率中得到光学常数。材料和基底数据可以从测量数据中得到。一旦选择了Substrate n,k T命令， 就会显示Extract Substrate Characteristics窗口。 数据文件单位 选择Unity：测量值在0~1之间. 选择Percent： 测量值在0~100之间. 数据处理 一旦输入了scale factor，选择Next就会到数据处理页面。在这里允许对测量的数据进行平滑，及其它处理选项。 Substrate Optical Constants 需要在这里指定基底的厚度值。 用Create Material 和Create Substrate按钮创建新材料文件和新基底文件。它们可以存在当前材料数据库中。 MULTICOAT-Stack MULTICOAT-Stack 它由一系列介质组成，从Incident Medium介质开始，以Emergent Medium结束。下图就是一个多层膜的例子。 更复杂的stack例子 参数定义 Medium type:Incident, Emergent,parallel, wedged. 假定介质的界面或边界足够平行(所有反射的光束仍然在系统的孔径内)，或 是楔形的(反射光束到系统孔径之外) 。 Medium material:由其光学常数和内透射率确定。 Medium substrate:和材料一样选择。 Coating file:薄膜文件名。 coating direction：forward, reversed,定义每一层薄膜。 Coating Locked:只有没有锁定的膜层才参加优化和综合。 Stack Refinement and Synthesis 在stack中，如果同一个薄膜放在不同的面上，则优化时，会只调整其中一个，然后再应用到所有的面上去。 如果想优化的时候分别处理所有的薄膜，但又想让它们的起始点相同，则应该将它拷贝成新的文件，放在不同的面上。 创建新的stack的方法 FileNewStack调出Stack 窗口， 起始的stack由入射介质空