完整版MEMS国内外发展状况.pptVIP

MEMS 传感器 国内 MEMS 研究机构 ? 清华大学精密仪器与机械学院 ? 天津大学精密仪器与光电子工程学院 ? 中科院上海微系统与信息技术研究所 ? 东南大学仪器科学与工程学院 清华大学精密仪器与机械学院 ? 精密测试技术及仪器国家重点实验室 清华大学精密仪器与机械学院 ? 研究成果 一、微机电系统与测控技术 微机械陀螺技术 微系统与控制技术 传感技术与智能仪器 二、空间微系统技术 微型姿态敏感器技术 微能源技术 扫描探测技术 清华大学精密仪器与机械学院 微系统 国内 MEMS 研究机构 ? 清华大学精密仪器与机械学院 ? 天津大学精密仪器与光电子工程学院 ? 中科院上海微系统与信息技术研究所 ? 东南大学仪器科学与工程学院 天津大学精密仪器与光电子工程学院 天津大学精密仪器与光电子工程学院 ? 精密仪器工程系 智能结构系统及仪器 激光数控精密加工 微电子机械系统 无损检测及动态测试系统 国内 MEMS 研究机构 ? 清华大学精密仪器与机械学院 ? 天津大学精密仪器与光电子工程学院 ? 中科院上海微系统与信息技术研究所 ? 东南大学仪器科学与工程学院 中科院上海微系统与信息技术研究所 ? 研究成果 多层三维微机械结构技术 硅片沿晶向 KOH 腐蚀凸角补偿技术 干法刻蚀积累电荷释放和可动结构保护技术 圆片级封装方法 中科院上海微系统与信息技术研究所 微机电系统 国内 MEMS