第5章真空合成教学案例.pptVIP

泵的底部—是装有真空泵油的蒸发器，真空泵油经电炉加热沸腾后，产生一定的油蒸汽，蒸汽沿着蒸汽导流管传输到上部，经由三级伞形喷口向下喷出。喷口外面的压强较油蒸汽压低，于是便形成一股向出口方向运动的高速蒸汽流，使之具有很好的运载气体分子的能力。油分子与气体分子碰撞，由于油分子的分子量大，碰撞的结果是油分子把动量交给气体分子自己慢下来，而气体分子获得向下运动的动量后便迅速往下飞去．并且，在射流的界面内，气体分子不可能长期滞留，因而界面内气体分子浓度较小．由于这个浓度差，使被抽气体分得以源源不断地扩散进入蒸汽流而被逐级带至出口，并被前级泵抽走．慢下来的蒸汽流在向下运动的过程中碰到水冷的泵壁，油分子就被冷凝下来，沿着泵壁流回蒸发器继续循环使用．冷阱的作用是减少油蒸汽分子进入被抽容器。 真空泵油的品种及应用 按GB7631.1—87的分类,真空泵油分为机械真空泵油和扩散泵油， 真空泵油和一般机油有很大差别，所以使用真空泵油应该注意： 1\选用适当使用性能和粘度等级的真空泵油。 ·残油往往含有大量的污染物和老化产物，会严重地影响新油的使用质量和寿命，因此在换油时，油箱及油路要清洗干净。将新油从泵的吸气口倒入，并用手缓慢地转动泵轴，清扫泵腔并将残油排尽，须重复清洗剂几次。 2\·不同牌号品种的真空泵油的品质不同，因此不同类型的真空泵油不能混用。 ·在用于溶剂、水蒸气和有腐蚀性气体时，使用后应勤检查，当油品发生乳化或稀释到影响泵的密封性能时，就应该换油。 3\真空泵油和机油的最大不同是真空泵油需要较强的抗乳化能力。 真空泵在使用的时候，在真空泵中易形成冷凝水，水和油混在一起容易使油乳化变质，对真空泵产生损伤。 正常真空泵油为淡黄色或黄色。如发现油质变为乳黄色或是灰白色时，此时应为真空泵抽取介质中含有大量水气，润滑油乳化现象。如发现油质变为黑黄或是酱色时，此时应为真空泵工作温度较高及润滑油工作时间较长，润滑油碳化现象。此二类情况都应做更换泵油处理。  ?KTN系列油扩散真空泵是用来获得高真空（10-2～10-5Pa）的主要设备。它和阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵等组成高真空抽气系统，可获得（10-2～10-4Pa）的工作真空度。如采用液氮等冷却装置，并加以烘烤可获得超高真空（10-6Pa）。该泵的特点是抽气能力大，抽速从390L/s至58600L/s范围内可供选择；它增设油观察窗，注油和放油口，泵油控温过热保护装置，和多个加热器并联组合，可不停机更换加热器。对惰性气体具有同样的抽气能力。它被广泛地应用在真空镀膜、真空炉、电子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域。 一、概述 1.什么是真空测量????真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。以压力表示真空度是由于历史上沿用下来的，并不十分合理。压力高意味着真空度低；反之，压力低与真空度高相对应。????真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准三个部分。????用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。本文所述压力的测量是指比大气压力小得多的气体压力测量。????压力是一个力学量，为单位面积所承受的力。大气压力为101325Pa，直接测量这样大的压力是容易的，但在真空技术中，测量这样大的压力是比较少的。真空技术中遇到的气体压力都很低，如有时要测lO-10pa的压力，这样极小的压力用直接测量单位面积所承受的力是不可能的。因此，测量真空度的办法通常是在气体中造成一定的物理现象，然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量，再设法间接确定出真实压力来。????真空计种类繁多，工作原理各异，除极少数几种是直接测量压力外，其它几乎都是间接测量压力的。????被测量气体除少数情况外，多为混合气体。上述压力测量是指混合气体全压力测量。在近代真空测量技术中，分压力测量越来越重要。这里所说的分压力测量是指全面地测出混合气体各组成成分的分压力。这样，混合气体的全压力就等于其各组成成分的分压力之和。????现代分压力真空计都属于电离类，即先将气体电离，然后将所得的各成分离子加速，再把离子引进分析器，将离子分开，分别测出各成分离子流强度，便可知气体的成分和数量。分析器有磁的、电的、电磁结合和其它方式等。有时只需知晓被测系统残余气体成分和相对含量，并不要求测出分压力值，这种仪器称为残余气体分析仪。????正确的压力测量必须对真空计进行校准。因为多数真空计是通过与压力有关的物理量来间接反应压力，而不能直接通过真空计有关参数计算求得压力值。这种真空计必须用标准真空计或能产生已知低压的校准装置进行校准。可以说，真空计校准是真空测量的基础，是发展真空测量的有力工具。????真空计量器具分三类：计量基准器具、计量标准器具