DH2005型直流辉光等离子体实验装置详解.doc

等离子体的应用 DH2005型 直流辉光等离子体实验装置 （附实验讲义） 使 用 说 明 书 杭州大华科教仪器研究所． 杭州大华仪器制造有限公司 目 录 目 录………………………………………………………1 设备简介及使用范围………………………………………………………2 仪器结构及说明……………………………………………………………3 仪器主要配置及组成………………………………………………………4 技术参数及特性……………………………………………………………5 设备安装及调试……………………………………………………………5 设备操作使用及注意事项…………………………………………………6 设备维护……………………………………………………………………7 常见故障的解决办法………………………………………………………7 装箱清单……………………………………………………………………8 辉光等离子体概述…………………………………………………………9 实验一 直流低气压放电现象观察及伏安曲线的测量………………. …16 实验二 气体击穿电压的测定及帕邢定律验证实验 ……………………22 实验三 直流辉光放电等离子体参数的测量 ……………………………26 1 一、直流辉光等离子体教学实验装置 等离子体作为物质的第四态，在工业、农业、国防、医药卫生等领域获得了越来越广泛的应用，其主要原因在于等离子体具有两个主要特征：同化学的和其它的方法相比，等离子体具有更高的温度和能量密度；等离子体能够产生活性成分，从而引发在常规化学反应中不能或难以实现的物理变化和化学反应。活性成分包括紫外和可见光子、电子、离子、自由基；高反应性的中性成分，如活性原子，受激原子态，活性分子碎片，如单体。同其它与之竞争的加工方法相比，工业等离子体工程提供了更有利的工业加工方法，包括更有效和更便宜达到工业相关结果的能力；它还能完成其它方法不能完成的任务，它能在不产生大量不需要的副产品和废料的情况下达到相同目的；并且能在产生很少污染和有毒废物的情况下实现相同目的。 等离子体技术是一个关系国家能源、环境、国防安全的重要技术，在国内，关于等离子体技术的研究和教学远远落后于等离子体技术在工程中的应用，具体体现在很多领域如微电子、光学镀膜等领域引进的具有上世纪90年代国际先进水平的生产线大量使用了等离子体技术，但高等理工学校在人才培养环节中却缺乏关于等离子体理论和实践方面的训练，造成这一现象的主要原因在于等离子体设备价格昂贵，国内生产的等离子体设备通常是科研院所从开展科学研究的角度开发的，价格一般在15-200万元，而同类进口设备的价格是国产设备价格的10倍，因此目前各高等学校的等离子体装置只用于研究和研究生教学，本科生基本上没有机会得到关于等离子体技术应用方面的训练。 直流辉光等离子体教学实验装置在经典直流放电管的基础上加以改进，工作气体、工作气压、电极距离等影响等离子体的参数均可灵活地加以单独或组合调控，从而利用该装置可以系统研究等离子体的激发原理和影响因素，不仅可以开设多个验证性实验，而且可以开设研究性实验，以提高学生分析问题的能力。 该装置包括可拆卸的气体放电管、测量系统、真空系统、进气系统和水冷系 统等部分组成，具有结构合理、调节方面、测量参数多等特点。2 二、仪器结构及说明 结构说明：仪器采用的是一体化设计，顶部是放电管及水冷部分，高压加在放电管两端，外面采用聚四氟乙烯绝缘材料绝缘防止漏电，冷却水通过两端的循环水冷套对放电管进行冷却，放电管内附两组钨丝，可利用等离子体诊断技术测定等离子体的一些基本参量。测量及控制部分均布置在中部的操作面板上，真空系统安装在机箱的内部。 操作面板配置说明 DH2005直流辉光等离子体实验装置操作面板图 各操作部件名称： 2、冷却水电源开关 1 、总电源开关 、电阻真空计开关 4 、真空泵电源开关 3 、工作选择开关 6 5、高压电源开关 、高压调节细调旋钮 8 、高压调节粗调旋钮 7 10、探针电压粗调旋钮 9 、探针电流量程旋钮 、放电管电压表 12 11、探针电压细调旋钮 14、辉光电流测量表 13、击穿电压显示表 、探针电流表 16 、辉光电流