Horiba 流量计中文说明书解析.ppt

C 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 质 量流量控制器 简 介 上海堀 场贸 易有限公司 C 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 质 量流量控制器主要是由 传 感器、 电 路板和 驱动阀 三大部分 组 成。是 能 够对 气体流量做精密 测 量和控制的一种 仪 器。主要使用在半 导 体工 业 和平面 显 示器制造和太阳能 电 子方面。 质 量流量： 质 量流量控制器感 测 的是通 过 的气体的分子量，工作 时 不 受外界的温度和 压 力的影响。 CONTROL ELECTRONICS (P-I-D) SIGNAL PROCESSING 电 源 : +/- 15VDC 设 定信号: 0?5V 输 出信号: 0?5V 进 气端 出气端 什么是 质 量流量控制器 C 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 阀驱动 传 感器 控制 阀 侧 流管 MFC 的内部 结 构 图 C 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 传 感器的 结 构 热传 感器 Tu Tu Td Td △ T . 根据 传 感器的 结 构，当没有气体流入 时 ， 传 感器两 边 的温度呈抛物 线 状均匀分布。 当有气体流 过时 ，上流端的自加 热电 阻 产 生的 热 量被 带 走，从而两端形成一定 的温度差，使 传 感器两 边 的温度曲 线 分 布不再平衡。 C 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 传 感器? 侧 流管 传 感器在不同 压 力下的特征 必 须 使 侧 流管 设计为层 流 结 构， 这样 才能流 出相 对稳 定和精准的流量 。 （実用新案第１４１６２６９号） 侧 流管在不同 压 力下的特征 C 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 压电 陶瓷 驱动 器 陶瓷的堆 栈结 构 外壳构造 干燥的氮气 连 接端口 陶瓷 驱动 器的内部 结 构 MFC 的 阀结 构 C 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 陶瓷 阀 的工作效果 图 _ + _ + 提供高的直流 电压 压电 元件 移 动 方向 压电 元件的伸 长 MFC 的 阀结 构 C 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 5V 0 Flow Rate (sccm/slm) 100 96 104 零点 对实际 流量的影响 +200mv -200mv 200mV ÷ 5000mV(5V) ＝ 0.04(4 ％） → 100SCCM× 4 ％＝ 4SCCM 5V 0 Flow Rate (sccm/slm) 100 4 V 3 V 2 V 1 V 80 60 40 20 C 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. ? SCCM – 标 准立方厘米每分 钟 ? SLM – 标 准立方升每分 钟 1000sccm = 1slm SCCM 和 SLM 是指在 标 准条件下的体 积单 位。 标 准条件指温度 为 零 摄 氏度，一个 标 准大气 压 的条件。 在美国， 标 准条件被广泛接受和 认 同。 . 然而，在其它不同的国家通常使用的流量 单位 除了 SCCM 和 SLM 外 还 有 CCM/ LM ( 日本 ) – 温度 为 25 ? C, 一个 标 准大气 压 NCCM/ NLM ( 日本 ) – 温度 为 20 ? C, 一个 标 准大气 压 CCM 作流量 单 位和 SCCM 作流量 单 位的 MFC 之 间 的流量相差大 约为 9.1% 。 什么是 SCCM /SLM