使用分段对角线测量CMM机器的空间补偿.doc

应用须知 AP-1110 使用分段对角线测量CMM机器的空间补偿 I. 问题点? 针对CMM机器的空间校验而言，每一运动轴的直线位置误差与两真直度误差皆需测量，若使用一般激光干涉仪来测量则非常耗费时间，物体对角线测量方法已被推荐用来快速检验机器的空间性能，然而并没有足够的信息可以用来鉴别误差源及补偿具重现性的误差。 II. 如何应用MCV-500来解决问题 一般激光对角线测量需要同时沿着物体对角线来移动所有三轴并在每段预设的增量撷取资料。新的分段对角线测量方法，建议分段移动X、Y及Z轴并在每轴移动后撷取资料。因此位置误差会因各轴的移动而分离，撷取的资料将会依因X轴移动、Y轴移动及Z轴移动造成在对角线所测得的误差来处理，因此在每条对角线测量将可撷取到三倍多的资料，对于四条对角线测量而言，将有十二笔资料可计算三项直线位置误差、六项真直度误差及三项值角度误差（请参阅G. Litto 及 C.P. Wang在Proceedings of LAMDAMAP 97所撰写的”Laser Doppler Displacement Meter Allows New Diagonal Measurement for large Aspect Ratio Machine Tool Easily and Accurately） 如果所有测量皆具重现性，测量所得的位置误差及真直度误差可用来补偿空间误差。 III. 如何进行 针对一般激光对角线测量而言，位移为沿着物体对角线的一直线，然而对于分段物体对角线测量而言，位移是先沿着X轴，再沿着Y轴，最后再沿着Z轴，标靶或反射镜的轨迹并非一直线，侧向位移相当大，因此一般的激光干涉仪在具有较大侧向位移时无法校准在同一直线上。 单光束MCV-500激光系统应用激光杜普勒原理（请参阅应用须知AP-1104及AP-1108），可使用平面镜当标靶如图一所示，需注意当以平面镜当标靶时，任何位移平行平面镜将不会遮断返回激光光束及对测量造成影响，因此只有沿着激光光束的方向的位移会被测得。 撰写工件程序使机器沿着物体对角线的X轴分段移动，停止，再沿着Y轴分段移动，停止，最后再沿着Z轴分段移动，停止，重复此步骤直到到达对角线的另一端点，其它三条对角线也重复相同的步骤。从这四条分段对角线将会产生十二笔资料，可用来计算出三项直线位置误差、六项真直度误差及三项值角度误差。 目前光动公司已进行数据处理软件的现场试验以测定俯仰度、偏摇度及横转度运动的影响及空间补偿方法。 IV. 索取更多信息 请拨电话给美国光动公司 310-635-7481 或上海科望光学公司 中国上海市延安中路596号1008室 电话： 021-6271-3033 传真：021-6272-8322