布鲁克d8荧光衍射仪操作说明.docVIP

XRD S OP 一、 環境注意事項: 1、 檢查冷氣( 空調) 是否在固定的溫、濕度( 24℃~25℃) 。 ( 離開時不用關) 2、 檢查冷卻水的水位是否正常。( 高水位為正常) 3、 打開冷卻機室牆上抽風扇的開關於排氣的位置。( 將開關推至”排”的位置) 4、 電腦開機。 二、 操作流程: PDF created with pdfFactory Pro trial version 1、 將系統電源ON按下並確認冷卻水機已同時被啟動，此時右操作面板顯示燈號 PDF created with pdfFactory Pro trial version 為On( 綠燈) 與Al ar m( 紅燈) 亮起。在正常的系統之中此時Al ar m燈亮起係因高 壓產生器( Gener at or ) 尚未開啟。 2、 開啟高壓產生器: 將開關往左轉並保持3~5秒，帶聽到電磁開關切入聲音或 RE ADY燈停止閃爍( 橘燈) 即可放手。若系統正常則RE ADY與ON的燈號亮起。 注意: 再次檢查冷卻系統水位與壓力是否正常。 3、 標準片粗部掃描流程: 開啟桌面DI FFRAC pl us Measur ement Par t 資料夾 →點選XRD Comma nder 進入量測介面 I 、系統條件設定: PDF created with pdfFactory Pro trial version ( 1) 在這各區域內主要控制包含了Goni omet er 上各量測元件的運動，Tube、 Sampl e、Det ect or 間之角度關係。 ( 2) 在左邊灰底藍字部分代表他實際的位置。倘若未做出始化將以淡紅色表示。 若出現”13. _ _”代表為大概的位置，並非精確位置，此時可用上方工具列 作初始化動作，機台自動找尋原參考點。成功後將顯現 Tube : 21. 241 2The t a: 5805052 ( 數值均固定，確認無誤可進行下一步) Det ect or : 37. 0583 注意: 每次開機的第一位使用者，都要做初始化動作，後續若無 開關機動作則無需再初始化。 I I 、繞射條件設定: 注意: 最大電壓與電流為 40kv、40mA PDF created with pdfFactory Pro trial version I I I 、量測範圍條件設定: 注意: Scant ype設定為Locked Coupl ed: 適用於Θ/ 2Θ繞射。 Det ect or scan: 適用於Θ( 低掠角) 繞射。 起始角度設定不可小於 0. 5 度。單晶試片量測時必須先和指導老師 與機台管理者確認並避開超高強度繞射峰位置( 如: 以( 100) 矽為基 板的薄膜試片量測時要避開 68~70 度的角度範圍)，若因疏忽造成機 台損害，必須負賠償責任。 I V、量測sampl e: 1、 標準片Al 2O3主peak應出現在35. 149度，確認無誤差則可進行sampl e的量測。 2、 將欲分析sampl e置於hol der 上，放入機台的量測區。 注意: 量測的 waf er 尺寸不可小於 5mmx 5 mm，最大不超出 40 mm x 40 mm，厚 度則不得超過 13 mm。含 Fe、Co、Ni 成分之試片背景雜訊將非常大 PDF created with pdfFactory Pro trial version 3、 於t ube置入狹縫( sl i t ) ，共有0. 2mm~1. 2mm si l t 可選擇。 置放 Sl i t 時，以凹槽向上並向內的原則置入。 4、 進行sampl e的細部掃描: 開啟桌面DI FFRAC pl us Measur ement Par t 資料夾 →點選XRD Wi zar d 此步驟: 對量測的sampl e作各項條件設定。 PDF created with pdfFactory Pro trial version PDF created with pdfFactory Pro trial version PDF created with pdfFactory Pro trial version ( 注意: 電壓與電流設定為40kv、40mA。) PDF created with pdfFactory Pro trial version 完成以上條件設定後，將資料存於C: \ NUK\ CME\ 各實驗室資料夾。 回到XRDComma nde r 介面，同標準片流程對sampl e進行粗部掃描，完成後切換j obs PDF created with pdfFactory Pro trial version 頁面。 將剛才使用XRD Wi zar d存的檔叫出來。 PDF