半导体原与晶圆制造.docVIP

半導體原料與晶圓製造 程一誠 yccheng@cyu.edu.tw 10 教學目標 Objectives ? 熟悉半導體的基本知識 ? 了解各種半導體材料的不同應用 ? 製程的相關化學常識 ? 矽晶圓的製造流程 11 Periodic Table of the Elements 半導體基板與其滲雜材料 Substrate P-type Dopant N-type Dopants 13 原子軌域與期能帶結構 Valence shells Conducting band, Ec Nuclei Band gap, E g Valence band, Ev 14 能帶與電阻係數 Eg = 1.1 eV Eg = 8 eV Aluminum Sodium Silicon Silicon dioxide 2.7 μ??cm 4.7 μ??cm ~ 1010 μ??cm 1020 μ??cm Conductors Semiconductor Insulator 15 矽單晶的晶體結構 Shared electrons Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si - 16 矽的優點 ? Abundant, inexpensive ? Thermal stability ? Silicon dioxide is a strong dielectric a