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扩散原理及技术介绍 袁泽锐 2011.01.17 主要内容 ?扩散的微观规律 ?扩散的宏观规律 ?扩散对电性能的影响 ?扩散对晶体缺陷的影响 2 一、扩散的微观规律 ? 扩散和布朗运动 ? 扩散机制 ? 晶体中的扩散 ? 晶格原子的扩散 ? 影响扩散系数的因素 3 1.1 扩散和布朗运动 布朗运动又称热运动，不仅在气体和液体中有，在固体中也同样存在；在固体 中原子不断地从一个平衡位置跃迁到另一个平衡位置。例如，1223K时碳原子在 γ-Fe中每秒钟要跃迁1010次。 在晶格中原子每次跃迁的距离就是该方向上的原子间距a。一个原子经过多次 跃迁才出现一个净位移，如下图所示。但单位时间内原子跃迁的次数愈多造成较大 净位移的可能性愈大，或者说回到原来位置的可能性愈小。 所以可以认为单位时间内的净位移愈大，表征布朗运动愈 强烈。这种净位移的大小与浓度梯度的存在与否无关。没 有浓度梯度时原子的布朗运动照样存在，只是不出现定向 扩散流。 4 平均平方位移 各原子净位移，从统计观点看，由于有正有负，加起来为零。为了表征布 朗运动的强弱，特引入平均平方位移。 平均平方位移的计算方法为：把每个杂质原子净位移的平方加起来再除以 杂质原子总数。表示如下： X = 2 2 2 + + + 2 X1 X2 X N N 每个杂质原子平方位移和每次跃迁的关系式为： n n 1 n ? X s s s s 2 s s = + ++ = ∑ + ∑ ∑ ( )2 2 2 i 1 2 n j j k j 1 j 1 k j 1 = = = + 2 s X 2 X 2 上式中， 不可能为零，所以n愈大， 愈大，即 的大小反映了布朗 j i 运动的强弱。 5 φ φ 设有 个原子具有X1的位移量， 个原子具有X2的位移量，……则平均平 1 2 方位移为： 2 = X φ φ φ X X X 2 + 2 + + 2 1 1 2 2 j N φ +φ + +φ 1 2 j φ = φ +φ ++φ 设 ，表示单位面积表面层原有的杂质总量。扩散 0 1 2 j 之后全部杂质 在沿整个x轴 的分布是： φ (?∞,+∞) 0 2 φ x ? ( ) C x,t 0 e 4 = Dt 2 Dt π （正态分布） 6 其分布曲线如右图所示，假设在 dx的小间隔中各杂质的净位移相 同，于是有： 2 X 式中 = ( ) ( ) ( ) 2 2 2 + + + C x ,t dxX C x ,t dxX C x ,t dxX 1 1 2 2 i i φ 0 C (x t)dx = φ ( ) ( ) C x t dx = φ C x t dx = φ。 1, 1; 2 , 2; ; i , i 若间隔趋向无穷小，求和变成积分形式，同时在半无限的情况下扩散总量是 φ 0 ，所以有： 2 2 φ x 1 ∞ ? 2 0 4 2 X e x dx 2Dt = ∫ = Dt φ π 2 Dt 0 0 2 7 φ 若是在三维的情况下沿+x方向的扩散量只有 0 ，按此可得到： 6 X 2 = 6Dt 此结果表示扩散系数直接反应了布朗运动的强弱。即在不涉及扩散机制以及 晶体结构的前提下扩散的强弱。 8 1.2 扩散机制 间隙机制 当某原子从一个间隙位置转移到另一个间 隙位置而没有引起基质晶格的永久性畸变，我 们就可以说该原子是借助于间隙机制进行了扩 散。 如图中所示，间隙原子要从位置1移动到位 置2，基质晶格的原子3和4必先移动分开到足够 让原子1通过。这种局部地暂时的畸变构成了一 个填隙原子改变位置的势垒。在杂质原子的半 径比基质原子的半径小得多时，往往采用间隙 机制来进行扩散。当填隙原子半径逐渐地和基 质原子一样大时，跃迁引起的局部畸变过大， 就会被另外的机制所取代。 9 空位机制 某个占有正常格点位置的原子跃迁到近邻的空位上，这个原子就可以说是空 位机制的扩散。空位机制的扩散也要克服一定的势垒。空位机制要求的畸变能并 不大，这种机制目前是在各种离子化合物和氧化物及合金中占有支配地位。 10 环形机制 两个最近邻的原子进行简单的位置交换而进行扩散的机制在1930年提出，由 于这种位置交换可能引起较大的局域畸变，并没有被多数人接受。到1950年， Zener指出，如果3个到4个原子作为一组进行旋转，这样引起的局部畸变将比简单 的两个原子的位置交换要小。人们把这种利用一组原子旋转来进行的扩散称作环 形扩散机制。 11 1.3 晶体中的扩散 晶体中原子的扩散涉及到具体的扩散机制以及晶体结构，因此需要对公式 X 2 = 6Dt 做一些修正。 以面心立方晶格的空位机制为例。如右图 所示，晶格中的空位A可能跃迁的有12个方向 矢量，这12个方向矢量是等价的，其跃迁的几 率相等。 对于某特定的