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DATACON 2200 evo 培训材料 1 ? 一 .DATACON 的简单介绍。 ? 二 . 机台的基本操作。 ? 三 . 机台常见报警的处理。 ? 四 .DATACON 的改机。 ? 五 . 机台的保养。 2 右图为我司 FC03 机器： DATACON 2200 evo 安全门 操作键盘 信号灯 操作面板 电源 / 启动开关 显示器 实物照片 3 紧急开关 Step 按钮 继续确认按钮 取消按钮 LED 指示灯 生产权限钥匙 1 、外部按钮与状态牌 Table 号 状态牌 不导胶标签 ESD 按扣 4 2 、点胶头 点胶装置给产品点不导胶，由气管、 胶管、点胶头、扫描相机构成，基板传 进轨道后， Camera 进行识别扫描对位 ，然后在预先设定的位置进行点胶。 点胶头 5 3 、 Pick up Placement tool PP tool 装置安装在 placement head 上，它的作用是实现芯片的交换与 贴装 6 4 、 Flip tool Flip tool 由 Flip arm 和吸嘴组成，它的作用是从晶圆上拾取 芯片，然后由 Flip arm 旋转 90 °或者 180 °，由 PickPlace 取走 芯片。 7 5 、 Ejection system 顶针装置的作用是从晶圆下 方顶起芯片，让芯片半脱离晶 圆的粘连，然后由 flip tool 进行 吸取。 8 6 、 wafer table Wafer table 为晶圆载台，固定和移动晶圆。 9 Flip tool 翻转下压 顶针抬起 Filp tool 吸起芯片 Filp tool 翻转 90 ° PP tool 准备吸取 PP tool 吸取芯片 Filp tool 复位 PP tool 吸取芯片完成 10 1. 开机和关机。 1 ）开机。依次打开压缩空气阀，机器主电源按钮，按下 UPS 启动开关 启动按钮 防静电手链插孔 电源开关 UPS 开关 2 ）关机。选择菜单file→ shut down→ shut down，待到机台 显示器无显示后 , 再关掉主电源开关和 UPS 关闭开关。 11 2. 生产界面。 1.work area ： 工作区域 2.Title bar ： 标题栏 3.Status bar ：状态栏 4.Task bar ： 任务栏 5.Menu bar ： 菜单栏 6.Standard symbol bar ： 标准工具栏 7.(shift ） buttons symbol bar ：附加工具栏 12 ? 3. 程序调用 ? 点击菜单 file → load ，或 者工具栏“ ”图片进 行程序掉用 ? 1 — 驱动盘选择 2 — 程序名输入 3 — 文件格式选择 4 — 文件路径 5 — 程序菜单 13 4. Mapping 的使用。 打开 Mapping 服务器 - ALPS 软件点击 import → 选择需要的 mapping 文件 → 检查 mapping 文件是 否正常 → 将 mapping 文 件导入 alps 服务器。 14 6. 更换点胶头 1) 装前在低倍显微镜下检查点胶 头部是否有缺损及清洗情况。 2) 使用无尘布和酒精擦拭螺纹， 确认螺丝纹上无残留胶水。 3) 将点胶头使用固定螺丝固定紧， 拧紧胶管螺丝。 点胶头缺口 位置对应 15 1. 抛料报警 报警处理：该报警为 PP tool 连续出现抛料异 常导致的报警，常为 PP tool 与 Flip tool 交换 芯片位置偏移或 Flip tool 未吸取芯片导致的 抛料报警。点 OK 可继续生产，点 Cancel 停 止生产。 出现该报警时需要联系技术员查看 抛料类型并作出维修，否则会导致芯片的浪 费。 ? 2 芯片识别报警 ? 报警处理： Component 扫描时会出现连续 识别不过的情况，右图为出现该情况时的报 警：识别错误颗数超过设定值，小字提示为 当前芯片行数和列数及开始连续出现错误时 的芯片行列坐标，对应 mapping 上芯片会显 示白色， wafer camera 显示芯片识别错误。 点击 OK 在下次对位框点 done ，在坐标框出 现时点 OK 即可。若仍有报警可以联系技术员 处理。 16 3. 轨道搬运报警 报警处理：该报警为轨道搬运错误， 小字描述为基板无法从 a 系统的第 b 个 皮带搬运到 c 系统的第 d 个皮带上。出 现该报警时点击 OK ，可重新传送基板， 基板传送失败会继续出现该报警。若 连续 3 次尝试传送仍出现该报警，需 联系技术员处理。 4. 基板识别报警 报警处理：该报警为基板 adjust point 识别偏移，出现该报警时点击 YES 尝试重新扫描，若仍出现该报警