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并五苯有机薄膜晶体管的制备 作为半导体材料中的佼佼者，基于pentacene 的OTFT 器件有着较高的载流 子迁移率，并且有研究者已经发现基于pentacene 的OTFT 对水蒸气、某些气体 正戊醇蒸气都有着很好的响应能力。实验采用基于pentacene 作为器件的有机层， 价格低廉的PMMA 为绝缘层，Au 作为源漏电极。OTFT 制作工艺流程如图4-1 所示。所用的设备主要包括超声波清洗器、匀胶机、OLED-V 型有机多功能高真 空成膜设备和微控数显电热板，型号为LadTech EH35B。 IITTOO IITTOO IIIITTTTOOOO电电极极 基基板板清清洗洗 绝绝缘缘层层成成膜膜 的的形形成成 退退火火处处理理 器器件件测测试试 有有机机层层成成膜膜 源源漏漏电电极极 图4-1 OTF