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晶圆制造流程
集成电路晶圆代工指以 8 英寸或 12 英寸的晶圆为原材料,借助载有电路信息的光掩模,运用光刻和刻蚀等工艺流程,将客户要求的电路布图集成于晶圆上。晶圆经过光刻和刻蚀等工艺流程的多次循环,逐层集成,并经离子注入、退火、扩散、化学气相沉积、物理气相沉积、化学机械研磨等流程, 最终在晶圆上实现特定的集成电路结构。
图表 1. 晶圆制造工艺流程
资料来源:公司招股书、中银证券
公司技术水平及市场地位
公司第一代 14nm FinFET 制程工艺已经量产,2019 年四季度收入中 14nm FinFET 占比 1%左右。
图表 2. 公司制程工艺发展时间点
资
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