Q_HDBKY-0005-20192LD_3LD-400系列离子泵控制器.pdf

N 78 Q/HD 北京中科科仪股份有限公司企业标准 Q/HDBKY 0005-2019 代替Q/HDBKY 0005-2016 2LD/3LD- 400 系列 离子泵控制器 2019-12-16 发布并实施 有效期至 2022-12-15 北京中科科仪股份有限公司 发 布 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………… Ⅱ 1 范围 …………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ……………………………………………………………………………………… 1 3 型号 …………………………………………………………………………………………………… 1 4 要求 …………………………………………………………………………………………………… 1 5 试验方法 ……………………………………………………………………………………………… 3 6 检验规则 ……………………………………………………………………………………………… 4 7 标志、包装、运输、贮存 …………………………………………………………………………… 5 8 产品成套性 …………………………………………………………………………………………… 5 Ⅰ 前 言 本标准发布实施后，代替Q/HDBKY 005-2016 《KYKY-2LD/3LD- 400 系列离子泵控制器》。 本标准与Q/HDBKY 005-2016 相比，无主要技术差异。 本标准由北京中科科仪股份有限公司提出。 本标准起草单位：北京中科科仪股份有限公司。 本标准的主要起草人：顼刚力、徐力、卢娟。 本标准的主要修订人：张亚楠。 本标准于2004 年10 月首次发布，2007 年10 月第一次修订。2010 年10 月第二次修订。 2013 年10 月第三次修订。2016 年10 月第四次修订。2019 年12 月第五次修订。 Ⅱ 2LD /3LD - 400 系列离子泵控制器 1 范围 本标准规定了2LD /3LD - 400 系列离子泵控制器的型号，要求，试验方法，检验规则，标志、 包装、运输、贮存及产品成套性。 本标准适用于与本公司生产的抽速在400L/S 以下的溅射离子泵配套使用的2LD /3LD - 400 系 列离子泵控制器( 以下简称“控制器”)。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于 本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191-2008 包装储运图示标志 GB 4793.1-2007 测量、控制和试验室用电气设备的安全要求 第1 部分：通用要求 GB/T 14436-1993 工业产品保证文件 总则 3 型号 3.1 二极型离子泵控制器 2 LD - 400 □ 特征代号，用英文字母表示