Q_HDBKY-0015-2018KYKY-2L_3L系列溅射离子泵.pdf

Q/HDBKY 0015-2018 J 78 Q/HD 北京中科科仪股份有限公司企业标准 Q/HDBKY 0015-2018 代替Q/HDBKY 0015-2015 KYKY-2L/3L 系列溅射离子泵 2018-01-13 发布并实施 有效期至2021-01-12 北京中科科仪股份有限公司 发 布 Q/HDBKY 0015-2018 目 次 前言 ……………………………………………………………………………………………………… Ⅱ 1 范围 …………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ……………………………………………………………………………………… 1 3 型号 ………………………………………………………………………………………………… 1 4 要求 …………………………………………………………………………………………………… 2 5 试验方法 ……………………………………………………………………………………………… 3 6 检验规则 ……………………………………………………………………………………………… 4 7 标志、包装、运输、贮存 …………………………………………………………………………… 4 8 产品成套性 …………………………………………………………………………………………… 5 附录A （规范性附录）与离子泵系列产品配套的离子泵控制器的主要参数………………………… 6 附录B （资料性附录）影响离子泵寿命的因素………………………………………………………… 7 Ⅰ Q/HDBKY 0015-2018 前 言 本标准发布实施后，代替Q/HDBKY 015-2012 《KYKY-2L/-3L 系列溅射离子泵》。 本标准的附录A 是规范性附录，附录B 是资料性附录。 本标准由北京中科科仪股份有限公司提出。 本标准起草单位：北京中科科仪股份有限公司。 本标准的主要起草人： 邓高飞 本标准1999 年1 月首次发布，2002 年7 月第一次修订，2005 年10 月第二次修订,2008 年12 月第 三次修订，2012 年第四次修订，2015 年第五次修订,2018 年第六次修订。 Ⅱ Q/HDBKY 0015-2018 KYKY-2L/3L 系列溅射离子泵 1 范围 本标准规定了KYKY-2L/3L 系列溅射离子泵的型号、要求、试验方法、检验规则，标志、包装、运 输、贮存及产品成套性要求。 本标准适用于KYKY-2L/3L系列溅射离子泵。 (以下简称离子泵) 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 19