单片射频微波集成电路技术与设计 MMICC测试技术_图文.docVIP

探针台测试技术优点 电子科技大学 1. 单扫系统从DC到120GHz； 2. 更精确且可重复性，引入的系统误差小； 3. 校准程序更简单，在片校准及标准验证可自动 化； 4. 它使VNA测试参考面位于探针尖上或在沿MMIC传 输线一段距离上,从而可完全消除参考面转换的 影响； 5. 提供了快速、无破坏MMIC性能测量方法，可以 在切片和封装之前进行性能测量。 Cascade Microtech 和 Agilent两公司已合 作提供了一整套在片测试解决方案，在高达 110GHz频率实现了可重复的频域测试。 11 10.2 测试方法 电子科技大学 ? ? ? ? ? 搭建平台; 校准系统; 验证测试可靠性; 性能测试; 特种应用性能测试。 校准标准： 1. 确定初始参照面； 2. 用开路/短路准件消除任何相位模糊； 3. 用延迟线、匹配负载或衰减器阻抗准件定 义参考阻抗。 12 ?通用校准方法 电子科技大学 TRL LRL TRM LRM ? 校准程序 ? 单重校准 ? 二重校准 13