GB/T 30110-2013空间红外探测器碲镉汞外延材料参数测试方法.pdf

ICS49.060 H 80 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT30110 2013 空空间红外探测器碲镉汞外延材料 参数测试方法 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 Measurin methodsofarametersof g p HCdTeeilaersusedforsaceinfrareddetectors g p y p 2013-12-17发布 2014-05-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT30110 2013 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 符号和说明 ……………………………………………………………………………………………… 3 5 材料参数测试方法 ……………………………………………………………………………………… 4 5.1 组分与厚度测试 …………………………………………………………………………………… 4 5.2 表面晶向测试 ……………………………………………………………………………………… 8 5.3 晶格常数测试 ……………………………………………………………………………………… 9 5.4 表面平整度测试 …………………………………………………………………………………… 10 5.5 表面粗糙度测试 …………………………………………………………………………………… 12 5.6 材料电学参数测试 ………………………………………………………………………………… 13 5.7 少数载流子寿命测试 ……………………………………………………………………………… 16 5.8 位错密度测试 ……………………………………………………………………………………… 18 5.9 表面缺陷密度测试 ………………………………………………………………………………… 20 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 5.10 X射线双晶衍射半峰宽测试 …………………………………………………………………… 20 5.11 X射线形貌测试 ………………………………………………………………………………… 22 5.12 材料性能非均匀性测试 ………………………………………………………………………… 23 6 空间环境下材料抗辐照性能测试方法………………………………………………………………… 24 6.1 试验条件 …………………………………………………………………………………………… 24 6.2 材料抗辐照性能参数测试 ………………………………………………………………………… 24