无机材料测试技术11电子探针X射线显微分析.pptxVIP

第十一章电子探针X射线显微分析 ;概述 显微分析特点 构造与工作原理 样品制备 分析方法;一、概述;电子探针分析的基本原理早在1913 年就被Moseley 发现，但直到1949 年，法国的Castaing才用透射电镜（TEM）改装成一台电子探针样机。 1955 年Castaing 在法国物理学会的一次会议上，展出了电子探针的原形机，1956 年由法国CAMECA公司制成商品，1958 年第一台电子探针装进了国际镍公司的研究室中。 扫描型电子探针商品是1960年问世。70 年代开始，电子探针和扫描电镜的功能组合为一体，同时应用电子计算机控制分析过程和进行数据处理。;二、电子探针显微分析特点;1. 显微结构分析;2. 元素分析范围广;3. 定量分析准确度高;4. 不损坏试样、分析速度快;5. 微区离子迁移研究;三、电子探针仪的构造和工作原理;1、电子探针分析的基本原理;1）定性分析的基本原理;式中：ν为元素的特征X 射线频率，Z为原子序数，K与σ均为常数，C为光速。当σ≈1时， λ与Z的关系式可写成:;　　能谱定性分析主要是根据不同元素之间的特征X 射线能量不同，即E＝hν，h 为普朗克常数，ν为特征X 射频率， 通过EDS 检测试样中不同能量的特征X 射线，即可进行元素的定性分析，EDS 定性速度快，但由于它分辨率低，不同元素的特征X 射线谱峰往往相互重叠，必须正确判断