第05章111111请问请问权威的.pptVIP

5.3.3运算放大器式电路 1）优点：改善单个变极距型电容式传感器特性的非线 性关系 。 2）原理：如图所示 5.3 测量电路 电路假设条件： （1）运算放大器增益非常高，输入电压若不使放大器饱和 。 （2）放大器的输入阻抗很高 。 3）讨论 ①输出 将与动极片位移d成线性关系，但由于放大器增益 ，输入阻抗 ，所以仍有一点非线性误差。 ② 与电源电压 、固定电容C0及电容式传感器的ε0、A等有关，任何这些参数的波动都将使输出特性产生误差，因此固定电容C0必须稳定，且需要高精度的交流稳压源。 ③由于电容传感器的电容小，容抗很高，故传感器与放大器之间的联结，需要有屏蔽措施。 ④不适用于差动式电容传感器的测量。 5.3 测量电路 一、特点： 1.温度稳定性好 电容值与电极材料无关，仅取决于电极的几何尺寸，且空气等介质的损耗很小。因此仅需从强度、温度系数等机械性考虑，合理选择尺寸即可，本身发热极小，影响稳定性甚微。 2.结构简单，适用性强。 3.动态响应好。（除固有频率很高，动态响应时间很短外，又由于其介质损耗小，可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。） 4.可以实现非接触式测量，具有平均效应。 5.4电容式传感器的特点及设计要点 主要缺点： 输出阻抗高，负载能力差 寄生电容影响大 输出特性是非线性 5.4电容式传感器的特点及设计要点 二、设计要点 1.减小环境温度、湿度等变化所产生的误差，保证绝缘材料的绝缘性能； 2.消除和减小边缘效应 边缘效应不仅使电容传感器灵敏度降低而且产生非线性，因此应尽量消除和减小它。 5.4电容式传感器的特点及设计要点 ★具体措施 ： ①减小极间距（适当），使极径与间距比很大， 可减小边缘效应，但易产生击穿现象。 ②使电极做得很薄。 ③可以设置等位环来消除边缘效应。 如 5.4电容式传感器的特点及设计要点 应该指出，边缘效应所引起的非线性与变极距型电容传感器原理上的非线性正好相反，因此在一定程度上起了补偿作用，但这是牺牲了灵敏度来改善传感器的非线性（边缘效应将使灵敏度下降）。 5.4电容式传感器的特点及设计要点 3.消除或减小寄生电容的影响 寄生电容与传感器的电容相并联，影响传感器灵敏度，而它的变化则影响了仪器的精度，必须消除和减小它，可采取： ①增加原始电容值，可减小寄生电容的影响； ②注意传感器的接地和屏蔽； ③将传感器与电子线路的前置放大器装在一个壳内； ④采用“驱动电缆”技术（加放大器）； ⑤采用运算放大器等； ⑥整体屏蔽。 5.4电容式传感器的特点及设计要点 4.防止和减小外干扰 措施：①屏蔽与接地； ②增加原始电容值、降低容抗； ③导线与导线要离的较远； ④尽可能一点接地。 5.尽量采用差动式电容传感器，可以减小非线性，提高灵敏度，减小寄生电容和减小干扰。 5.4电容式传感器的特点及设计要点 5.5电容式传感器的应用 C —— 传感器电容 L —— 电感 RP —— 并联损耗电阻 RS —— 串联损耗电阻 CP —— 寄生电容 高温、高湿、高激励 一、等效电路 二、应用中存在问题 保护环 减小极板厚度d 极板 间隙 保护环 1、边缘效应 灵敏度降低、非线性增加 2、寄生电容 消灭寄生电容的影响，是传感器实用化的关键。 消灭寄生电容的方法： ① 驱动电缆法 等电位屏蔽法 ② 整体屏蔽法 ③ 采用组合式与集成技术 5.5电容式传感器的应用 三、应用举例 例1 电容测厚传感器在板材轧制装置中的应用 例2 电容式称重传感器 误差平均效应 例3 电容式压力传感器 单只变间隙型 差动式 例4 电容式加速度传感器 惯性原理 灵敏度：0.35mV/g/V 例5 容栅传感器 差动变面积型 误差平均效应 精度：10um 范围：0 ~ 150mm 作业 5-1根据电容式传感器工作原理，可将其分为几种类型？每种类型各有什么特点？各适用于什么场合？ 5-2 如何改善单极式变极距型电容式传感器的非线性？ 5-3 试计算题5-3图所示各电容式传感元件的总电容。 题5-3图 5-4 当差动式极距变化型的电容式传感器动极板相对于定极板位移了Δd=0.75mm时，若初始电容量C1=C2=80pF，初始距离d=4mm，试计算其非线性误差。若将差动电容改为单平板电容，初始值不变，其非线性误差有多大？ 5-5 有一个以空气为介质的极板电容式传感器，其中一块极板在原始位置上平移了15mm后，与另一极板之间的有效重叠面积为20mm2，两极板间距为1mm，已知空气相对介电常数 ，真空时的介电常数ε0=8.854×10-12 F/m，求该传感器的位移灵敏