Q_NMTW 010-2020多晶硅生产用三氯氢硅.pdf

Q/NMTW 内蒙古通威高纯晶硅有限公司企业标准 Q/NMTW 010-2020 多晶硅生产用三氯氢硅 2019 12 23 2019年12 月15 日发布 年 月 日实施 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 Q/ NMTW 010-2020 前 言 本标准依据GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则 第1部分：标准的结构和编写》编写。 本标准在制定时考虑了 《GB/T 19001-2016质量管理体系 要求》、《GB/T24001-2004环境 管理体系 要求及使用指南》、《GB/T28001-2011职业健康安全管理体系 要求》、《GB 28654 工 业三氯氢硅》及 《GB/T23331-2009 能源管理体系 要求》标准的要求，使本规范在实施时能更 好的与相关体系有机结合。 本标准由内蒙古通威高纯晶硅有限公司提出。 本标准由内蒙古通威高纯晶硅有限公司归口。 本标准起草单位：内蒙古通威高纯晶有限公司起草。 本标准主要起草人：王旭。 本规范于2019-12-15日发布，2019-12-23日正式实施。 第 2 页 共 4 页 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 Q/NMTW010-2020 1 范围 本标准适用于内蒙古通威高纯晶硅有限公司外购三氯氢硅。 本标准规定了外购三氯氢硅的质量要求、检测方法、运输。 2 规范性引用文件 参考GB 28654 《工业三氯氢硅》的分析方法,没有特殊说明时本标准执行最新国标号。 三氯氢硅简称TCS。 3 质量要求 外购三氯氢硅应符合下表要求 序号 分析项目 控制标准 1 三氯氢硅 ≥99.5% 2 甲基二氯硅烷 ≤25ppmw 3 总碳 ≤30ppmw 4 B含量 ≤15ppbww 5 总金属杂质 ≤200ppbw 6 外观 无色透明液体 4 检验及结果判定 原料外购应成罐 （罐车）交验，每批应由同一工艺生产的产品组成。 原料应由我公司品管部进行检验，检验方法为气相色谱法，并出具检验报告单，保证产 品质量符合本标准规定，并填写质量检验报告。 在判定项目中若检验结果有一项不合格，则加倍取样对该不合格的项目进行复验。若仍 不合格，则该批产品为不合格。 5 放行 5.1 合格原料的放行 三氯氢硅经品管检测合格后，由品管通知公司调度，调度通知相关部门卸料、入库以备 生产所用。 3 4 第 页 共 页 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 Q/NMTW010-2020 5.2 不合格原料的处理 经品管检测不合格时，需由品管部组织相关部门对不合格品进行评审，并填写 《不合格 评审/处理记录》。如果没有 《