矿物材料现代测试技术武汉理工大学4电子显微镜4知识讲解.pptVIP

武汉理工大学资环学院 管俊芳 第三部分 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构 电子显微分析 电子显微镜一般由电子光学系统，信号收集及显示系统，真空系统及电源系统组成。 1 电子光学系统 （1） 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构 电子光学系统由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。 其作用是用来获得扫描电子束，作为产生物理信号的激发源。 为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。 1 电子光学系统 （3） 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构 2电磁透镜 其作用主要是把电子枪的束斑逐渐缩小，是原来直径约为50mm的束斑聚焦成一个只有数nm的细小束斑。 其工作原理是电磁聚焦。一般有三组透镜，前两个为强透镜，用来缩小电子束光斑直径。第三个是弱透镜，具有较长的焦距，在该透镜下方放置样品可避免磁场对二次电子轨迹的干扰。 1 电子光学系统 （4） 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构 3扫描线圈 其作用是提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管内电子束在荧光屏上的同步扫描信号。 扫描线圈是电子显微镜的一个重要组件，它一般放在最后二透镜之间，也有的放在末级透镜的空间内。 1 电子光学系统 （5） 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构