中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997.docVIP

中国国家电子级超纯水标准GB/T11446.1-1997 附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997 ? 电阻率25℃MΩ*cm 硅≤μg/L 铜≤μg/L 锌≤μg/L 镍≤μg/L 钠≤μg/L 钾≤μg/L 氯≤μg/L 1μm颗粒≤个/ml 细菌≤个/ml 硝酸根≤g/L 磷酸根≤μg/L 硫酸根≤μg/L TOC≤μg/L EW-I ≥18* 2 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5 1 0.1 0.01 1 1 1 20 EW-II ≥1 ** 10 0 0 1 2 2 1 5 0.1 1 1 1 100 注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13） 中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准 ?指标\级别 ?EW－Ⅰ ?EW－Ⅱ EW－Ⅲ? EW-Ⅳ 电阻率 MΩ，cm(25℃) 18以上，（95％时间）不低于17 15，（95％时间）不低于13 ?12.0??? 0.5??? 全硅，最大值,μg/L 2 10 50 1000 ＞1μm微粒数，最大值，个/mL 0.1 5 10 500 ?细菌个数，最大 ，个/mL 0.01 0.1 10 100 ?铜，最大值，μg/L 0.2 1 2 500 ?锌，最大值，μg/L 0.2 1 5 500 ?镍，最大值，μg/L 0.1 1 2 500 ?钠，最大值，μg/L 0.5 2 5 1000 ?钾，最大值，μg/L 0.5 2 5 500 ?氯，最大值，μg/L 1 1 10 1000 ?硝酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 ?磷酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 ?硫酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 ?总有机 ，最大值，μg/L 20 100 200 1000 电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997） 项目 级别 比电阻 MΩ.cm@25℃ 硅 ≤ μg/L 1μm微粒数 个/ml 细菌个数?个/ml 铜≤μg/L 锌≤μg/L 镍≤μg/L 钠≤μg/L 钾 ≤ g/L 氧≤ μg/L 硝酸根≤ μg/L 磷酸根≤ μg/L 硫酸根 ≤μg/L 总有机碳≤μg/L EW-Ⅰ 18（95%的时间不低于17） 2 0.1 0.001 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5 1 1 1 1 20 EW-Ⅱ 15（95%的时间不低于13） 10 5 0.1 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100