MATLAB刻蚀工艺模拟仿真___副本.pdfVIP

.word 可编辑 . 目录 第一章 课程总目标 1 1.1 Si 刻蚀的物理 化学基础· 1 1.2 模拟工艺 2 第二章 软件模拟刻蚀工艺设计 顺序 12 2.1 顺序 1 的目标 1 2 2.2 顺序 1 的目标 2 6 2.2.1 4+1‘ ’反应模型 6 2.2.2 发射角的解决办法 7 第三章 软件模拟刻蚀工艺设计 顺序 2 13 3.1 入射角度考量 14 第四章 软件模拟刻蚀工艺设计 顺序 3 16 4.1 考虑反应系数的刻蚀 17 第五章 软件模拟刻蚀工艺设计