电镜技术及其应用上课 课件.pptVIP

非金属材料试样制备 1 ? 非金属材料进行 SEM 观察前，需要在试样表面蒸 镀金属导电膜，以消除试样荷电现象、减轻电子 束造成的试样表面损伤、增加二次电子产率。 ? 金属镀膜方法 真空蒸发镀膜法 高真空状态、加热 ? 金属蒸发 ? 试样表 面形成一层金属膜 离子溅射镀膜法 真空度 0.2-0.02Torr 条件、 500-1000V 直流电 压 ? 辉光放电 ? 阳离子在电场作用下轰击金靶 ? 金粒子溅射，在试样表面形成导电膜 6 、试样的制备 非金属材料试样制备 2 ? 镀膜材料的选择： Au 、 C 、 Ag 、 Cr 、 Pt 、 Au-Pd 熔点较低、易蒸发 与常用的钨丝加热器不发生任何作用 二次电子、背散射电子发射效率高 化学性能稳定 ? 镀膜厚度 导电膜应均匀、连续，厚度 200-300? 不能太薄，否则导电膜显著不均、易破裂，甚至部 分表面未蒸镀上导电膜 不能太厚，否则导电膜易产生龟裂，掩盖试样表面 结构细节 先蒸发一层很薄的炭，然后再蒸镀金属层可以获得 比较好的效果。 6 、试样的制备 非金属材料试样制备 3 6 、试样的制备 生物医学材料试样制备 1 6 、试样的制备 ? 生物样品制备的一般原则： 防止样品污染、损伤，保持原有形貌